公开(公告)号：CN101047115B

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200710091404.6

申请日：2007-03-28

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 西出信彦

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/30 ,  H01L21/306 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/687 ,  G11B7/26 ,  B08B11/00 ,  B08B11/02 ,  B08B3/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: G03F7/16 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/68742

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置和基板搬送方法，该基板处理装置包括：基板保持旋转机构，其用于保持并旋转基板；定位构件，其设在该基板保持旋转机构上，用于将基板定位在规定的基板保持位置；基板搬送机构，其将基板递交给到上述基板保持旋转机构；推压单元，其设在该基板搬送机构上，将基板推压在上述定位构件上。

公开(公告)号：CN101047115A

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN200710091404.6

申请日：2007-03-28

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 西出信彦

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/30 ,  H01L21/306 ,  H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  H01L21/68 ,  H01L21/687 ,  G11B7/26 ,  B08B11/00 ,  B08B11/02 ,  B08B3/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: G03F7/16 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708 ,  H01L21/68742

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置和基板搬送方法，该基板处理装置包括：基板保持旋转机构，其用于保持并旋转基板；定位构件，其设在该基板保持旋转机构上，用于将基板定位在规定的基板保持位置；基板搬送机构，其将基板递交给到上述基板保持旋转机构；推压单元，其设在该基板搬送机构上，将基板推向上述定位构件。