公开(公告)号：CN1426847A

公开(公告)日：2003-07-02

申请号：CN02149833.4

申请日：2002-11-06

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 矢部学

IPC: B05B7/02 ,  B05B7/24 ,  B05D1/02 ,  B05D3/06 ,  H01J9/20

CPC classification number: H01J9/242 ,  H01J2211/36 ,  Y10T156/1705

Abstract: 通过从喷吐部52喷吐肋材料而在基板9上形成隔离肋的隔离肋形成装置1中，设置有摆动机构4，可在垂直于支撑着基板9的平台3的移动方向的方向上使喷吐部52摆动，由此在基板9上形成波浪形隔离肋。平台3进行两次移动，在平台3的第二次移动时，将每条隔离肋形成在已经形成的相邻的两条隔离肋之间，在平台3的第一次移动和平台3的第二次移动过程中形成的隔离肋相对于与平台3的移动方向平行的轴彼此对称。用这样形成的隔离肋可以制造能提高等离子体显示器亮度的屏板。

公开(公告)号：CN101045224A

公开(公告)日：2007-10-03

申请号：CN200710084715.X

申请日：2007-02-26

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 矢部学 ,  尾本贡一 ,  加藤博己 ,  岩岛正信

IPC: B05B1/14 ,  B05C5/02 ,  B05D3/06

Abstract: 本发明提供一种喷嘴制造方法及喷嘴。在该喷嘴制造方法中，使具有多个喷出口的原喷嘴对基底构件(51)进行相对移动，并且，使原喷嘴对基底构件(51)进行相对移动的同时，从原喷嘴向基底构件(51)上喷出浆料，同时照射紫外线而使刚刚喷出到基底构件(51)上的浆料固化，由此在基底构件(51)上排列形成多个隔断壁(53)。然后，相对基底构件(51)固定盖构件(54)，从而能够容易地制造具有多个喷出口(52)的喷嘴(5)，其中，上述盖构件(54)与多个隔断壁(53)的顶部(531)相抵接的同时，覆盖多个隔断壁(53)。

公开(公告)号：CN1857920A

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：CN200610078521.4

申请日：2006-05-08

Applicant: 奥克泰克有限公司 ,  大日本网目版制造株式会社 ,  东京毅力科创株式会社

Inventor： 奥村胜弥 ,  矢部学 ,  小八木康幸 ,  原田宗生 ,  清元智文

IPC: B41J2/16 ,  H01L21/768 ,  B41J2/14 ,  B41J2/175

CPC classification number: B41J2/1609 ,  B05C5/007 ,  B05C5/0212 ,  B05C5/027 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1631 ,  H01J9/242

Abstract: 本发明提供了一种高精度且低成本的布图图案形成装置。该装置以(100)晶向的单晶硅为母材，通过光刻工序形成具有斜面部和布图材料导引槽的梳齿部。以与形成导引槽相同的工序形成该梳齿部的各个梳齿共用的储存布图材料的储液部。在形成斜面部时，可以通过进行湿式各向异性蚀刻，利用基于晶向的蚀刻速度之差来相对于晶向(100)高精度且容易地形成具有(111)晶向的斜面部，此外还可以通过各向异性干蚀刻来形成槽部，从而以高精度形成直到斜面部的、具有垂直侧壁的布图材料导引槽。

公开(公告)号：CN100459016C

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200510113756.8

申请日：2005-10-14

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 矢部学

IPC: H01J9/02 ,  H01J17/04 ,  H01J11/02

CPC classification number: H01J9/241 ,  B05C5/0216 ,  B05C9/14

Abstract: 本发明提供一种图案形成方法及图案形成装置，该图案形成装置(1)包括用于将图案形成材料从多个喷射口喷射到基板(9)的主表面上的喷射部件(41)。通过工作台移动机构(2)，喷射部件(41)沿着基板(9)的主表面在一方向上相对于基板(9)移动，由此在基板(9)上形成多个线形图案元件。在形成该线形图案元件的过程中，通过喷射口移动机构(44)周期性地改变多个喷射口相对于基板(9)的移动速度，且在每个线形图案元件(91)中形成节部，每个节部沿与线形图案元件(91)延伸方向相垂直的方向扩展。这就使在从多个喷射口喷射图案形成材料的同时可以在基板(9)上恰当地形成类似于格子状结构的图案。

公开(公告)号：CN1773650A

公开(公告)日：2006-05-17

申请号：CN200510113756.8

申请日：2005-10-14

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 矢部学

IPC: H01J9/02 ,  H01J17/04 ,  H01J11/02

CPC classification number: H01J9/241 ,  B05C5/0216 ,  B05C9/14

Abstract: 本发明提供一种图案形成方法及图案形成装置，该图案形成装置(1)包括用于将图案形成材料从多个喷射口喷射到基板(9)的主表面上的喷射部件(41)。通过工作台移动机构(2)，喷射部件(41)沿着基板(9)的主表面在一方向上相对于基板(9)移动，由此在基板(9)上形成多个线形图案元件。在形成该线形图案元件的过程中，通过喷射口移动机构(44)周期性地改变多个喷射口相对于基板(9)的移动速度，且在每个线形图案元件(91)中形成节部，每个节部沿与线形图案元件(91)延伸方向相垂直的方向扩展。这就使在从多个喷射口喷射图案形成材料的同时可以在基板(9)上恰当地形成类似于格子状结构的图案。

公开(公告)号：CN101183632B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200710186309.4

申请日：2007-11-12

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 矢部学 ,  岩岛正信

IPC: H01J9/02 ,  H01J9/24 ,  G03F7/00 ,  H01J11/02 ,  H01J17/04 ,  H01J17/16

Abstract: 在图案形成装置中，在从喷嘴部(421)的多个喷出口(422)喷出具有光固化特性的图案形成材料(80)期间，在沿着基板(9)的移动方向上，在先使喷嘴部移动的情况下使喷嘴部和光照射部(43)相对于基板相对且连续移动，并且掩模移动机构(45)使掩模(46)在光照射部和基板之间平行于基板移动。在掩模(46)上二维排列设置了透过率不规则地不同的多个矩形区域，因此在基板上照射区域的照射光的照度分布随时间不规则地变化。由此，可抑制基板上的间隔壁图案的不均匀，该间隔壁图案的不均匀是指：因多个喷出口的不均一性等而在基板上同时形成有宽度不同的间隔壁，从而所产生的图案不均匀。

公开(公告)号：CN101183632A

公开(公告)日：2008-05-21

申请号：CN200710186309.4

申请日：2007-11-12

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 矢部学 ,  岩岛正信

IPC: H01J9/02 ,  H01J9/24 ,  G03F7/00 ,  H01J11/02 ,  H01J17/04 ,  H01J17/16

Abstract: 在图案形成装置中，在从喷嘴部(421)的多个喷出口(422)喷出具有光固化特性的图案形成材料(80)期间，在沿着基板(9)的移动方向上，在先使喷嘴部移动的情况下使喷嘴部和光照射部(43)相对于基板相对且连续移动，并且掩模移动机构(45)使掩模(46)在光照射部和基板之间平行于基板移动。在掩模(46)上二维排列设置了透过率不规则地不同的多个矩形区域，因此在基板上照射区域的照射光的照度分布随时间不规则地变化。由此，可抑制基板上的间隔壁图案的不均匀，该间隔壁图案的不均匀是指：因多个喷出口的不均一性等而在基板上同时形成有宽度不同的间隔壁，从而所产生的图案不均匀。