公开(公告)号：CN101276741A

公开(公告)日：2008-10-01

申请号：CN200810087332.2

申请日：2008-03-21

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 町田英作

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65G49/05 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67276 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67745 ,  Y10T29/41

Abstract: 本发明提供一种能缩短装置全体的基板搬运所需时间的基板处理装置。分度器机械手(12)有两个搬运臂(13a、13b)，各保持一个未处理基板(W)并将两个未处理基板(W)从搬运器(C)同时运至基板交接部(50)。此外，分度器机械手(12)的两个搬运臂(13a、13b)各保持一个完成处理的基板(W)，从基板交接部(50)同时接受两个完成处理的基板(W)并将它们同时搬至搬运器(C)。通过在基板交接部(50)设置三个送出承载部(SPASS1～SPASS3)和返回承载部(RPASS1～RPASS3)，能使由分度器机械手(12)进行的两个同时搬运顺利地进行，能缩短基板处理装置(1)全体的基板搬运所需时间。

公开(公告)号：CN100578733C

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200810087332.2

申请日：2008-03-21

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 町田英作

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65G49/05 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67276 ,  H01L21/67161 ,  H01L21/67745 ,  Y10T29/41

Abstract: 本发明提供一种能缩短装置全体的基板搬运所需时间的基板处理装置。分度器机械手(12)有两个搬运臂(13a、13b)，各保持一个未处理基板(W)并将两个未处理基板(W)从搬运器(C)同时运至基板交接部(50)。此外，分度器机械手(12)的两个搬运臂(13a、13b)各保持一个完成处理的基板(W)，从基板交接部(50)同时接受两个完成处理的基板(W)并将它们同时搬至搬运器(C)。通过在基板交接部(50)设置三个送出承载部(SPASS1～SPASS3)和返回承载部(RPASS1～RPASS3)，能使由分度器机械手(12)进行的两个同时搬运顺利地进行，能缩短基板处理装置(1)全体的基板搬运所需时间。