公开(公告)号：CN101082592A

公开(公告)日：2007-12-05

申请号：CN200710106524.9

申请日：2007-06-01

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 谷口和隆 ,  上田邦夫 ,  浅井吉治 ,  三田章生

IPC: G01N21/956 ,  H01L21/66

Abstract: 在不均检查装置的对象图像生成部件61中，在拍摄基板而取得的多灰度的原始图像中遮蔽间隙的区域，从而准备对象图像。该间隙的区域对应于矩形区域间的区域，其中，该矩形区域与基板上的面板对应。在线条状不均要素确定部件63中，在将对象图像二值化了的二值图像中，以多条线条状不均要素线段分别确定多个线条状不均要素区域。各线条状不均要素区域的长度与宽度之比在规定值以上。然后，在线条状不均检测部件64中，检测长轴方向相同的、在相邻的矩形区域中沿长轴方向排列的两条线条状不均要素线段，从而能够容易地检测出横亘多个矩形区域延伸的线条状不均。

公开(公告)号：CN101101200A

公开(公告)日：2008-01-09

申请号：CN200710108822.1

申请日：2007-05-31

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 浅井吉治

IPC: G01B11/30 ,  G01B11/06

Abstract: 本发明提供一种不均检查装置及其方法、以及图像显示装置及其方法。在不均检查装置中，从光照射部件向基板上的膜照射光，并通过拍摄部件接收由膜反射的特定波长的干涉光，从而取得膜的原始图像。在根据原始图像获取的对象图像中求出多根等浓度线(721)，并取得设定在各评价位置(722)评价区域(723)中所存在的等浓度线(721)的数目，从而取得评价值，其中，该多根等浓度线(721)分别表示范围相邻的两个浓度范围的边界，而且，该评价值针对该评价位置(722)表示对象图像中的浓度变化的梯度。其结果，通过参照评价值，能够易于对基板上的膜的膜厚变化梯度进行确认。

公开(公告)号：CN101082592B

公开(公告)日：2011-09-14

申请号：CN200710106524.9

申请日：2007-06-01

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 谷口和隆 ,  上田邦夫 ,  浅井吉治 ,  三田章生

IPC: G01N21/956 ,  H01L21/66

Abstract: 在不均检查装置的对象图像生成部件61中，在拍摄基板而取得的多灰度的原始图像中遮蔽间隙的区域，从而准备对象图像。该间隙的区域对应于矩形区域间的区域，其中，该矩形区域与基板上的面板对应。在线条状不均要素确定部件63中，在将对象图像二值化了的二值图像中，以多条线条状不均要素线段分别确定多个线条状不均要素区域。各线条状不均要素区域的长度与宽度之比在规定值以上。然后，在线条状不均检测部件64中，检测长轴方向相同的、在相邻的矩形区域中沿长轴方向排列的两条线条状不均要素线段，从而能够容易地检测出横亘多个矩形区域延伸的线条状不均。