公开(公告)号：CN1855416A

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：CN200610073620.3

申请日：2006-04-13

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 柿村崇 ,  山本广

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种在处理基板期间使基板适当支撑在支撑台上、同时在将基板装载到支撑台上或者从支撑台举起时也可以适当处理基板的机构。设置与基板(90)的周边部接触的第一支撑销(33)、与基板的中央部接触的第二支撑销(34)。第一支撑销的下端由固定设置在升降板(351)上的滑动接触板(352)支撑，第二支撑销的下端由提高加固构件(354)支撑。以贯通固定设置在升降板上的滑动接触板(353)的方式配置提高加固构件的下部，相对于升降板在规定的范围内升降自由地支撑。以第二支撑销以及提高加固构件的上下方向的尺寸加起来等于从保持面(30)到固定板(350)的上表面的尺寸的方式来设计。

公开(公告)号：CN100409424C

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN200610073620.3

申请日：2006-04-13

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 柿村崇 ,  山本广

IPC: H01L21/687 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67 ,  H01L21/00

Abstract: 本发明的目的在于提供一种在处理基板期间使基板适当支撑在支撑台上、同时在将基板装载到支撑台上或者从支撑台举起时也可以适当处理基板的机构。设置与基板(90)的周边部接触的第一支撑销(33)、与基板的中央部接触的第二支撑销(34)。第一支撑销的下端由固定设置在升降板(351)上的滑动接触板(352)支撑，第二支撑销的下端由提高加固构件(354)支撑。以贯通固定设置在升降板上的滑动接触板(353)的方式配置提高加固构件的下部，相对于升降板在规定的范围内升降自由地支撑。以第二支撑销以及提高加固构件的上下方向的尺寸加起来等于从保持面(30)到固定板(350)的上表面的尺寸的方式来设计。