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发明公开
用光刻法处理薄金属片的方法失效

公开(公告)号：CN87102767A

公开(公告)日：1987-10-28

申请号：CN87102767

申请日：1987-04-10

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 山本纪雄 , 川崎腾 , 神鸟武文 , 安滕良一

IPC: C23F1/00

CPC classification number: H01J9/142 , C23F1/02 , H05K3/064 , H05K3/20 , H05K3/202

Abstract: 一种制造有孔阴罩的处理薄金属片的光刻方法。所述方法利用了一个支承层来支承金属薄片。在金属片上形成一个光刻胶层以确定图案影像。透过确定图案影像的光刻胶层的孔隙向金属片表面供给一种腐蚀液以腐蚀金属表面。然后将光刻胶层从金属片上除去，并将金属片从支承片上取出。最终的金属片形成具有多重孔隙的阴罩。分别将两个金属片置于支承片的正反两面并同时处理两个金属片，生产率可提高一倍。

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