公开(公告)号：CN100461494C

公开(公告)日：2009-02-11

申请号：CN200410047549.2

申请日：2004-05-21

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 尾本贡一 ,  外海正司 ,  市边伸夫 ,  前冈淳史

IPC: H01L51/56 ,  H05B33/10 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明提供一种蒸镀用掩模的制造方法，通过该方法，可获得高的加工精度，作业性也良好，且能够防止薄板部件产生弯曲、变形的不良情况。使用薄板原料，该薄板原料是将第1金属层和第2金属层之间夹设中间层层叠而成的，该中间层由具有抗蚀刻性的、相对规定药液具有溶解性的材料形成；对薄板原料从两侧面进行蚀刻处理，在前述第1金属层上形成用于使蒸镀材料通过的开孔部，同时，在第2金属层上、于第1金属层的开孔部的形成区域以外的区域内残留框部那样地形成用于使蒸镀材料通过的开孔部；然后用规定药液，将中间层的露出部分溶解并去除。

公开(公告)号：CN1578547A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410047549.2

申请日：2004-05-21

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 尾本贡一 ,  外海正司 ,  市边伸夫 ,  前冈淳史

IPC: H05B33/10 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明提供一种蒸镀用掩模的制造方法，通过该方法，可获得高的加工精度，作业性也良好，且能够防止薄板部件产生弯曲、变形的不良情况。使用薄板原料，该薄板原料是将第1金属层和第2金属层之间夹设中间层层叠而成的，该中间层由具有抗蚀刻性的、相对规定药液具有溶解性的材料形成；对薄板原料从两侧面进行蚀刻处理，在前述第1金属层上形成用于使蒸镀材料如所希望的那样通过的开孔部，同时，在第2金属层上、于第1金属层的开孔部的形成区域以外的区域内残留框部那样地形成用于使蒸镀材料通过的开孔部；然后用规定药液，将中间层的露出部分溶解并去除。