公开(公告)号：CN1920673B

公开(公告)日：2011-05-11

申请号：CN200610125701.3

申请日：2006-08-25

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 和田昌之

IPC: G03F7/42

CPC classification number: H01L21/02057 ,  G03F7/423 ,  H01L21/02063 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708

Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂除去方法以及抗蚀剂除去装置，本发明的抗蚀剂除去方法中，向基板的表面供给硫酸以及双氧水，从该基板的表面除去抗蚀剂。其后，向基板的表面供给双氧水，从基板的表面排除硫酸。

公开(公告)号：CN1920673A

公开(公告)日：2007-02-28

申请号：CN200610125701.3

申请日：2006-08-25

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 和田昌之

IPC: G03F7/42

CPC classification number: H01L21/02057 ,  G03F7/423 ,  H01L21/02063 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/6708

Abstract: 本发明提供一种抗蚀剂除去方法以及抗蚀剂除去装置，本发明的抗蚀剂除去方法中，向基板的表面供给硫酸以及双氧水，从该基板的表面除去抗蚀剂。其后，向基板的表面供给双氧水，从基板的表面排除硫酸。