公开(公告)号：CN100405570C

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN200510071399.3

申请日：2005-05-20

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 吉冈均

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/027 ,  G03F7/16 ,  G03F7/26

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，可缩短基板处理装置的全长，并可降低装置的制造成本。本发明的基板处理装置中，基板运送机器人(411)的基部(4113)及中间台(4112)，使手部(4111)在运送室(41a)和与其邻接设置的边缘冲洗部(34)之间进退动作，从而进行边缘冲洗部(34)和运送室(41a)之间的基板运送。这样，在邻接运送室(41a)的边缘冲洗部(34)和运送室(41a)之间，通过运送室(41a)的基板运送机器人(411)的手部(4111)，就可以不必经过传送机构等其他机构而将基板G直接从边缘冲洗部(34)移动到运送室(41a)。

公开(公告)号：CN1728356A

公开(公告)日：2006-02-01

申请号：CN200510071399.3

申请日：2005-05-20

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 吉冈均

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/027 ,  G03F7/16 ,  G03F7/26

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，可缩短基板处理装置的全长，并可降低装置的制造成本。本发明的基板处理装置中，基板运送机器人(411)的基部(4113)及中间台(4112)，使手部(4111)在运送室(41a)和与其邻接设置的边缘冲洗部(34)之间进退动作，从而进行边缘冲洗部(34)和运送室(41a)之间的基板运送。这样，在邻接运送室(41a)的边缘冲洗部(34)和运送室(41a)之间，通过运送室(41a)的基板运送机器人(411)的手部(4111)，就可以不必经过传送机构等其他机构而将基板G直接从边缘冲洗部(34)移动到运送室(41a)。