公开(公告)号：CN1626418A

公开(公告)日：2005-06-15

申请号：CN200410100291.8

申请日：2004-12-10

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 稻田龙彦 ,  十野浩之

IPC: B65G43/00 ,  B65G49/06 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67276 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置及基板处理装置的管理方法，在基板处理装置中对各动作部进行各式各样的维护工作。在装置空间的侧面规定位置设置有门，在各个门设置着联锁开关。在每个门的附近设置有联锁解除部，其用于将联锁开关的功能设定为无效，使装置空间内各动作部中特定的动作部的电源为断开状态，将其他动作部的电源维持为接通状态。在装置空间的侧面的规定位置设置着再动作指令部，其用于通过联锁解除部的操作，使成为断开状态的特定的动作部的电源成为接通状态。

公开(公告)号：CN1299346C

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：CN200410100291.8

申请日：2004-12-10

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 稻田龙彦 ,  十野浩之

IPC: H01L21/68 ,  B65G43/00 ,  B65G49/06

CPC classification number: H01L21/67276 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/136

Abstract: 本发明涉及一种基板处理装置及基板处理装置的管理方法，在基板处理装置中对各动作部进行各式各样的维护工作。在装置空间的侧面规定位置设置有门，在各个门设置着联锁开关。在每个门的附近设置有联锁解除部，其用于将联锁开关的功能设定为无效，使装置空间内各动作部中特定的动作部的电源为断开状态，将其他动作部的电源维持为接通状态。在装置空间的侧面的规定位置设置着再动作指令部，其用于通过联锁解除部的操作，使成为断开状态的特定的动作部的电源成为接通状态。