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公开(公告)号：CN1933700A
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：CN200610107631.9
申请日：2006-07-28
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明涉及一种布线形成系统及其方法，光学外观检查装置(13)，对布线图案形成后的印刷基板全部区域，采用线宽测定算法测定布线图案的线宽。而且，光学外观检查装置(13)，以区域(22)为单位制成线宽直方图。然后，光学外观检查装置(13)，在同一区域(22)中将制成的线宽直方图与掩模图像数据的线宽直方图进行比较，制成线宽分布。信息管理系统(14)基于采用规定数的印刷基板而制成的线宽分布的平均来制成校正数据。曝光装置(12)基于上述校正数据，对设计数据或曝光用的图像数据上的布线图案的线宽，以区域(22)为单位进行变粗、变细的校正。
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