公开(公告)号：CN100394544C

公开(公告)日：2008-06-11

申请号：CN200610079970.0

申请日：2006-04-29

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 伊藤祯朗

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/324 ,  H01L21/26 ,  H05B3/00

CPC classification number: H01L21/67115 ,  H01L21/68721

Abstract: 从闪光灯发出的闪光通过由设于夹紧环中的开口限定的光学窗口引导至半导体晶片上。由于夹紧环的开口为椭圆形结构，因此由夹紧环限定的光学窗口也为椭圆形平面结构。夹紧环安装至腔体，并使与半导体晶片的外周部分的一些部分面对的光学窗口的相对边缘部是位于椭圆形结构的短轴上的光学窗口的相对边缘部，所述半导体晶片的外周部分的所述一些部分在假设所述光学窗口是圆形平面结构时，如果从所述光源发出闪光穿过所述光学窗口，则所述这些部分具有相对低的温度。穿过该光学窗口的闪光提高了半导体晶片外周部分的具有相对低温的一些部分的温度，从而改善了闪光加热期间半导体晶片的温度分布的晶片内部均匀性。

公开(公告)号：CN1858897A

公开(公告)日：2006-11-08

申请号：CN200610079970.0

申请日：2006-04-29

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 伊藤祯朗

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/324 ,  H01L21/26 ,  H05B3/00

CPC classification number: H01L21/67115 ,  H01L21/68721

Abstract: 从闪光灯发出的闪光通过由设于夹紧环中的开口限定的光学窗口引导至半导体晶片上。由于夹紧环的开口为椭圆形结构，因此由夹紧环限定的光学窗口也为椭圆形平面结构。夹紧环安装至腔体，并使与半导体晶片的外周部分的一些部分面对的光学窗口的相对边缘部是位于椭圆形结构的短轴上的光学窗口的相对边缘部，所述半导体晶片的外周部分的所述一些部分在假设所述光学窗口是圆形平面结构时，如果从所述光源发出闪光穿过所述光学窗口，则所述这些部分具有相对低的温度。穿过该光学窗口的闪光提高了半导体晶片外周部分的具有相对低温的一些部分的温度，从而改善了闪光加热期间半导体晶片的温度分布的晶片内部均匀性。