公开(公告)号：CN101261935B

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200810085228.X

申请日：2008-03-10

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 盐见昭雄 ,  仁科吉广 ,  佐藤徹 ,  村元僚

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B65G49/06 ,  B65G49/05

Abstract: 一种基板处理装置，该基板处理装置包含：容置器保持部，对容置以水平姿态上下层叠的多张基板的容置器进行保持；基板处理部，对以垂直姿态在水平方向上层叠的多张基板一并实施处理；主搬送机构，在给定的基板交接位置和基板处理部之间对以垂直姿态在水平方向层叠的多张基板一并进行搬送；搬入搬出机构，将多张基板相对于容置器保持部所保持的容置器一并进行搬入搬出，并使该多张基板在水平姿态和垂直姿态之间一并进行姿态变换；副搬送机构，在给定的移动放置位置上与搬入搬出机构之间一并交接垂直姿态的多张基板，在基板交接位置上与主搬送机构之间一并交接垂直姿态的多张基板，在移动放置位置和基板交接位置之间一并搬送垂直姿态的多张基板。

公开(公告)号：CN101261935A

公开(公告)日：2008-09-10

申请号：CN200810085228.X

申请日：2008-03-10

Applicant: 大日本网目版制造株式会社

Inventor： 盐见昭雄 ,  仁科吉广 ,  佐藤徹 ,  村元僚

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B65G49/06 ,  B65G49/05

Abstract: 一种基板处理装置，该基板处理装置包含：容置器保持部，对容置以水平姿态上下层叠的多张基板的容置器进行保持；基板处理部，对以垂直姿态在水平方向上层叠的多张基板一并实施处理；主搬送机构，在给定的基板交接位置和基板处理部之间对以垂直姿态在水平方向层叠的多张基板一并进行搬送；搬入搬出机构，将多张基板相对于容置器保持部所保持的容置器一并进行搬入搬出，并使该多张基板在水平姿态和垂直姿态之间一并进行姿态变换；副搬送机构，在给定的移动放置位置上与搬入搬出机构之间一并交接垂直姿态的多张基板，在基板交接位置上与主搬送机构之间一并交接垂直姿态的多张基板，在移动放置位置和基板交接位置之间一并搬送垂直姿态的多张基板。