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公开(公告)号：CN100587600C
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200580021579.9
申请日：2005-06-29
Applicant: 大日本油墨化学工业株式会社 , 日本AZ电子材料株式会社
IPC: G03F7/11 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/091 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/11 , Y10S438/952
Abstract: 本发明提供一种维持作为防反射膜的性能并具有特别优异的涂布特性的防反射涂层用组合物以及使用该组合物的图案形成方法。一种防反射涂层用组合物，其至少含有下述(A)、(B)、(C)、(D)和(E)成分：(A)下述通式(1)所示的全氟烷基·亚烷基磺酸；CnF2n+1(CH2CH2)mSO3H (1)；(式中，n表示1～20的整数、m表示0～20的整数)(B)有机胺；(C)水溶性聚合物；(D)下述通式(2)所示的含有全氟烷基乙基的化合物；CkF2k+1CH2CH2-X-Y (2)；(式中，k表示1～20的整数、X表示单键或2价的连接基团、Y表示阴离子性基团或非离子性基团。其中，该化合物具有与上述(A)成分不同的结构)(E)水。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101031846A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200580021579.9
申请日：2005-06-29
Applicant: 大日本油墨化学工业株式会社 , 日本AZ电子材料株式会社
IPC: G03F7/11 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/091 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/11 , Y10S438/952
Abstract: 本发明提供一种维持作为防反射膜的性能并具有特别优异的涂布特性的防反射涂层用组合物以及使用该组合物的图案形成方法。一种防反射涂层用组合物，其至少含有下述(A)、(B)、(C)、(D)和(E)成分：(A)下述通式(1)所示的全氟烷基·亚烷基磺酸；CnF2n+1(CH2CH2)mSO3H(1)(式中，n表示1～20的整数、m表示0～20的整数)(B)有机胺；(C)水溶性聚合物；(D)下述通式(2)所示的含有全氟烷基乙基的化合物；CkF2k+1CH2CH2－X－Y(2)(式中，k表示1～20的整数、X表示单键或2价的连接基团、Y表示阴离子性基团或非离子性基团。其中，该化合物具有与上述(A)成分不同的结构)(E)水。
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公开(公告)号：CN101154040B
公开(公告)日：2012-06-06
申请号：CN200710153550.7
申请日：2007-09-21
Applicant: AZ电子材料IP(日本)株式会社 , 大日本油墨化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供涂布时不形成条斑等的LCD-TFT基板制造用排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物、光致抗蚀剂组合物的涂布方法及抗蚀剂图形的形成方法。排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物含有：(A)碱可溶性树脂、(B)感光剂、以及(C)由含以通式(1)：CH2＝CR1COOCH2CH2C8F17(式中，R1是氢原子或者甲基)表示的氟代烷基单体(m1)和含以通式(2)：CH2＝CR2COO(C3H6O)nH(式中，R2是氢原子或者甲基，n作为分布的平均值是4～7)表示的聚氧丙烯单体(m2)构成的单体混合物(m)进行聚合而得到的共聚物(P)，上述单体混合物(m)中的上述单体(m1)和(m2)的混合比(m1)/(m2)是25/75～40/60(重量比)，而且上述共聚物(P)的重均分子量是3000～10000的氟系表面活性剂。
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公开(公告)号：CN1170862C
公开(公告)日：2004-10-13
申请号：CN99801246.7
申请日：1999-07-30
Applicant: 大日本油墨化学工业株式会社
IPC: C08F279/00 , C08F2/02 , C08L51/04 , C08L23/20 , C08L83/04
CPC classification number: C08L53/02 , C08F257/02 , C08F279/02 , C08L51/04 , C08L55/02 , Y10S526/92 , C08L2666/04 , C08L2666/24 , C08L2666/02
Abstract: 提供一种光泽、刚性和面冲击强度优良的苯乙烯系树脂组合物。将二烯系单体的均聚物(b1)、或者具有15%以下重量比例苯乙烯结构单元的苯乙烯系单体与二烯系单体的共聚物(b2)、与具有20～50%重量比例苯乙烯结构单元的苯乙烯系单体与二烯系单体的共聚物(b3)、苯乙烯系单体(a1)以及(甲基)丙烯酸烷基酯(a2)的混合溶液，在将无活动部分的多个混合元件被固定在内部的管状反应器组合成的连续本体聚合管线内进行连续本体聚合。
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公开(公告)号：CN1274372A
公开(公告)日：2000-11-22
申请号：CN99801246.7
申请日：1999-07-30
Applicant: 大日本油墨化学工业株式会社
IPC: C08F279/00 , C08F2/02 , C08L51/04 , C08L23/20 , C08L83/04
CPC classification number: C08L53/02 , C08F257/02 , C08F279/02 , C08L51/04 , C08L55/02 , Y10S526/92 , C08L2666/04 , C08L2666/24 , C08L2666/02
Abstract: 提供一种光泽、刚性和面冲击强度优良的苯乙烯系树脂组合物。将二烯系单体的均聚物(b1)、或者具有15%以下重量比例苯乙烯结构单元的苯乙烯系单体与二烯系单体的共聚物(b2)、与具有20～50%重量比例苯乙烯结构单元的苯乙烯系单体与二烯系单体的共聚物(b3)、苯乙烯系单体(a1)以及(甲基)丙烯酸烷基酯(a2)的混合溶液,在将无活动部分的多个混合元件被固定在内部的管状反应器组合成的连续本体聚合管线内进行连续本体聚合。
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公开(公告)号：CN101154040A
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200710153550.7
申请日：2007-09-21
Applicant: AZ电子材料(日本)株式会社 , 大日本油墨化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供涂布时不形成条斑等的LCD－TFT基板制造用排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物、光致抗蚀剂组合物的涂布方法及抗蚀剂图形的形成方法。排出喷嘴式涂布法光致抗蚀剂组合物含有：(A)碱可溶性树脂、(B)感光剂、以及(C)由含以通式(1)：CH2＝CR1COOCH2CH2C8F17(式中，R1是氢原子或者甲基)表示的氟代烷基单体(m1)和含以通式(2)：CH2＝CR2COO(C3H6O)nH(式中，R2是氢原子或者甲基，n作为分布的平均值是4～7)表示的聚氧丙烯单体(m2)构成的单体混合物(m)进行聚合而得到的共聚物(P)，上述单体混合物(m)中的上述单体(m1)和(m2)的混合比(m1)/(m2)是25/75～40/60(重量比)，而且上述共聚物(P)的重均分子量是3000～10000的氟系表面活性剂。
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