掺杂硼的精制硅的制造方法

    公开(公告)号:CN101508436B

    公开(公告)日:2012-10-10

    申请号:CN200910003897.2

    申请日:2009-02-12

    Inventor: 惠智裕 田渊宏

    CPC classification number: C01B33/033 C01B33/037 Y10S136/291

    Abstract: 本发明提供一种掺杂硼的精制硅的制造方法,其是用金属铝还原卤化硅而得到还原硅,并从该还原硅、以较少的能量制造掺杂硼的硅(精制硅)的方法。本发明的制造方法的特征在于,用金属铝还原卤化硅而得到还原硅,加热熔融得到的还原硅,掺杂硼,然后在铸模内,在一个方向上设置树脂温度梯度的状态下使其凝结,由此进行精制。优选在酸洗还原硅之后加热熔融,掺杂硼。在减压下加热熔融还原硅之后,掺杂硼。在加热熔融还原硅之后使其在一个方向上凝结,精制,然后加热熔融,掺杂硼。

    掺杂硼的精制硅的制造方法

    公开(公告)号:CN101508436A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200910003897.2

    申请日:2009-02-12

    Inventor: 惠智裕 田渊宏

    CPC classification number: C01B33/033 C01B33/037 Y10S136/291

    Abstract: 本发明提供一种掺杂硼的精制硅的制造方法,其是用金属铝还原卤化硅而得到还原硅,并从该还原硅、以较少的能量制造掺杂硼的硅(精制硅)的方法。本发明的制造方法的特征在于,用金属铝还原卤化硅而得到还原硅,加热熔融得到的还原硅,掺杂硼,然后在铸模内,在一个方向上设置树脂温度梯度的状态下使其凝结,由此进行精制。优选在酸洗还原硅之后加热熔融,掺杂硼。在减压下加热熔融还原硅之后,掺杂硼。在加热熔融还原硅之后使其在一个方向上凝结,精制,然后加热熔融,掺杂硼。

    精制硅的制造方法
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101412512A

    公开(公告)日:2009-04-22

    申请号:CN200810170341.8

    申请日:2008-10-16

    Inventor: 惠智裕 田渊宏

    CPC classification number: C01B33/037 B22D27/045

    Abstract: 本发明提供一种可在不用考查硅方向凝固物(4)中的铝浓度(C)的情况下即可切除粗硅区域(45)而制造精制硅(1)的方法。本发明的制造方法中,由目标最大铝浓度(C10max)和温度梯度(T)及凝固速度(R(mm/分))求出满足下式(1)及式(2)的基准凝固率(f0),在被凝固的过程中的凝固率(f)相当于f0的部位将上述硅方向凝固物(4)切断,k={K1×Ln(R)+K2}×{K3×exp[K4×R×(K5×C2+K6)]}×{K7×T+K8}-K9(1),式(1)中,k是从按照满足下述式(2)的方式求得的铝有效分配系数k′的0.9倍~1.1倍的范围中选择的系数,C10max=k′×C2×(1-f0)k′-1(2)(k′表示铝有效分配系数,C2表示原料硅熔液的铝浓度)。

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