-
公开(公告)号:CN116026870A
公开(公告)日:2023-04-28
申请号:CN202211310530.7
申请日:2022-10-25
Applicant: 大塚电子株式会社 , 国立大学法人京都大学
IPC: G01N23/201
Abstract: 本发明提供一种光学测定系统。光学测定系统包括:光源,其产生光束;起偏器,其配置在光源与试样之间,用于对光束的偏振方向进行限制;检测器,其观测光束照射到试样而产生的散射光;以及检偏器,其配置在试样与检测器之间。检偏器对入射到检偏器的包含检偏器与光束的光轴交叉的交叉位置在内的光轴中心区域的光施加比入射到检偏器的除光轴中心区域以外的区域的光大的衰减。