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1.

发明公开
涂布装置无效

公开(公告)号：CN112007826A

公开(公告)日：2020-12-01

申请号：CN202010469567.9

申请日：2020-05-28

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 阵场成行 , 松本龙儿

IPC: B05C9/10 , B08B5/02 , B08B5/04

Abstract: 本发明提供一种涂布装置(10)，其包括：载置部(11)，其载置板状的被涂布物(30)；膜材料涂布部(12)，将膜材料(31)沿涂布方向涂布在被载置于所述载置部(11)的所述被涂布物(30)的板面(30A)；清洁部(21)，其相对于所述膜材料涂布部(12)，被配置在所述涂布方向的上游侧，通过与所述膜材料涂布部(12)一起相对所述载置部(11)移动，去除所述被涂布物(30)的板面(30A)上的异物；所述膜材料涂布部(12)与所述清洁部(21)被一体设置，藉由一个移动驱动部(17)相对所述载置部(11)沿所述涂布方向移动。

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