公开(公告)号：CN102804932A

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN201180014265.1

申请日：2011-02-21

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 横川政弘 ,  一色和彦 ,  岸本克史

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/509 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H05H1/46 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/32183

Abstract: 可密封腔室，其中注入有活性材料气体；多组放电部分，每一个组都包括在腔室中以相对的方式对齐的阴极和阳极，以产生等离子放电；电源部分，布置在腔室之外，以提供电功率以在多组放电部分中产生等离子放电；多个匹配盒，布置在腔室之外，该匹配盒电连接至电源部分；至少一个支撑部分，布置在腔室之外，该支撑部分支撑多个匹配盒；和多个电导体，其将多个匹配盒电连接至多组放电部分的阴极，其中支撑部分适于在其中多个电导体长度相等的位置处支撑一个或多个匹配盒。