公开(公告)号：CN102245344A

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200980150541.X

申请日：2009-12-18

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 丰川雅博 ,  立花伸介

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/00 ,  B23K26/03 ,  H01L21/027 ,  H01L31/04

CPC classification number: B23K26/0876 ,  B23K26/364 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/172 ,  B23K2103/50 ,  H01L31/046 ,  H01L31/0463 ,  H01L31/186 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 为了将基板(2)上形成的膜(3)分离为多个区域，将第1光束向膜(3)照射。通过将在多个区域之间残留有膜(3)的去除不良部位(DP)的膜(3)去除来进行修补(RP1)。由此，可提供能够以高的成品率将膜分离为多个区域的膜去除方法、利用该方法的光电转换装置(1)的制造方法以及膜去除装置(60)。