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公开(公告)号:CN101290944A
公开(公告)日:2008-10-22
申请号:CN200810093334.2
申请日:2008-04-18
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 上西彰
IPC: H01L27/146 , H01L21/822
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/14685
Abstract: 本发明涉及了固态图像捕获装置及其制造方法和电子信息装置。提供了一种固态图像捕获装置,其中多层布线部分具有多个布线层,该多个布线层经由处于其间的相应层间绝缘薄膜而被层压,该多层布线部分被提供在半导体基板上或基板上所形成的半导体区域上,在那里用于光电转换主光线的多个光接收部分在像素部分中以矩阵方式排列;以及像素部分中的层间绝缘薄膜被均匀蚀刻,使得基板的像素部分比外围电路部分薄;以及多个微透镜在层间绝缘薄膜的蚀刻部分的底部表面上排列成相应地面向多个光接收部分。
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公开(公告)号:CN101290944B
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200810093334.2
申请日:2008-04-18
Applicant: 夏普株式会社
Inventor: 上西彰
IPC: H01L27/146 , H01L21/822
CPC classification number: H01L27/14636 , H01L27/14625 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/14685
Abstract: 本发明涉及了固态图像捕获装置及其制造方法和电子信息装置。提供了一种固态图像捕获装置,其中多层布线部分具有多个布线层,该多个布线层经由处于其间的相应层间绝缘薄膜而被层压,该多层布线部分被提供在半导体基板上或基板上所形成的半导体区域上,在那里用于光电转换主光线的多个光接收部分在像素部分中以矩阵方式排列;以及像素部分中的层间绝缘薄膜被均匀蚀刻,使得基板的像素部分比外围电路部分薄;以及多个微透镜在层间绝缘薄膜的蚀刻部分的底部表面上排列成相应地面向多个光接收部分。
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