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公开(公告)号：CN112885722A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110027507.6
申请日：2021-01-10
Applicant: 复旦大学 , 橙河微系统科技(上海)有限公司
IPC: H01L21/306 , H01L21/336 , H01L29/40 , H01L29/417 , H01L29/10
Abstract: 本发明属于电子器件制备领域，具体为一种基于微区电化学刻蚀的晶体管沟道及源漏电极的制备方法。本发明方法结合电化学原理及微区自限域加工技术，具体利用装有电解液的微管在基底的特定区域形成一个弯液面，通过在电解液和基底导电金属层间施加电压并使针管相对基底按规划好的路径和速度移动来制备图案化的电极。本发明通过高效灵活地控制金属材料的微区电化学刻蚀，有效解决了现有掩模电极制造工艺（如光刻和真空蒸镀）中工艺复杂、成本高或分辨率低的问题，对实验室研究与工业生产具有重要意义。
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公开(公告)号：CN111719178A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010638113.X
申请日：2020-07-02
Applicant: 橙河微系统科技(上海)有限公司
Abstract: 本发明提供的该三维微区电化学沉积控制方法及其适配系统，其中方法步骤包括：在电解液和样品表面之间施加直流偏压和交流方波信号后；检测微管尖端与样品表面接触前回路中的交流电流信号，以计算正负电荷量Q＝∫idt，其中i为第一交流电流值，t为检测周期，并进阶计算电容值 其中Va为交流信号幅值，后根据 推算出微管接近样品表面的接近距离d，其中r为微管尖端半径，ε0为介电常数，籍此来准确判断该微管尖端与样品表面的实际距离。
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公开(公告)号：CN111719178B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202010638113.X
申请日：2020-07-02
Applicant: 橙河微系统科技(上海)有限公司
Abstract: 本发明提供的该三维微区电化学沉积控制方法及其适配系统，其中方法步骤包括：在电解液和样品表面之间施加直流偏压和交流方波信号后；检测微管尖端与样品表面接触前回路中的交流电流信号，以计算正负电荷量Q＝∫idt，其中i为第一交流电流值，t为检测周期，并进阶计算电容值其中Va为交流信号幅值，后根据推算出微管接近样品表面的接近距离d，其中r为微管尖端半径，ε0为介电常数，籍此来准确判断该微管尖端与样品表面的实际距离。
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公开(公告)号：CN111809205A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010706557.2
申请日：2020-07-21
Applicant: 橙河微系统科技(上海)有限公司
Abstract: 本发明公开了基于微区电化学沉积的三维合金微纳结构打印装置及方法，属于电化学领域，其中装置包括用于填充镀液的中空微管，镀液中含有至少一种适于电镀的第一类型金属离子；用于承载可导电的试样的电控位移台，且电控位移台还用于带动试样按照预设的轨迹运动；用于通过导线将中空微管中的镀液以及试样连接成电回路的电压源；用于在电控位移台按照预设的轨迹相对中空微管运动时，控制电压源并使试样上的偏压值处于使至少一种第一类型金属的离子均能够进行沉积的电压范围内的控制器。本发明通过电源控制器对电压源的控制，使至少一种第一类型金属离子在电镀电压作用下，进行沉积以实现对三维合金微纳结构的打印操作。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN213747123U
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202022648665.7
申请日：2020-11-16
Applicant: 橙河微系统科技(上海)有限公司
Inventor： 陶鑫
Abstract: 本实用新型涉及一种无振动的新型加湿器，包括加湿组件、单片机以及设置在实验环境中的温度传感器，单片机分别与温度传感器以及加湿组件连接。加湿组件包括出气模块、软管以及密闭水槽，密闭水槽通过软管分别与出气模块以及实验环境连通，密闭水槽内设置有水。出气模块用于将密闭水槽的水分子吹入实验环境中，单片机用于接收温度传感器采集的环境温度参数并根据环境温度参数调节出气模块的启闭。通过调节出气模块使得密闭水槽内的高湿气的空气吹入实验环境中，温度传感器会持续监测实验环境中的湿度参数并传输至单片机内。此新型加湿器对环境湿度控制的精度高，速度快，相比于常规机械电机加湿不产生振动，有效的提高了实验精度，降低了成本。
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公开(公告)号：CN214623345U
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202023230681.0
申请日：2020-12-28
Applicant: 橙河微系统科技(上海)有限公司
IPC: G05B19/042 , G02B21/32
Abstract: 本实用新型涉及一种显微镜操控设备，包括遥控器，遥控器内设置有电路板，电路板上设置有用于发出控制信号的Arduino nano以及多个以数字量输出信号的旋转编码器。旋转编码器与Arduino nano连接，Arduino nano与显微镜的上位机连接，每个编码器上设置有与其对应的旋钮，旋钮设置在遥控器上。使用时通过旋转旋钮调节旋转编码器，旋转编码器向Arduino nano发送脉冲信号，Arduino nano作为控制信号的接收端，检测按键及旋钮操作并将用户的操作汇报给上位机做相应的显微镜控制。其采用以数字量输出信号的旋转编码器，避免使用模拟量导致输出结果精度差、出错概率高等弊端，提高了数码显微镜控制器的稳定性。
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公开(公告)号：CN213342774U
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202022649544.4
申请日：2020-11-16
Applicant: 橙河微系统科技(上海)有限公司
IPC: H05B47/10 , H05B47/155
Abstract: 本实用新型涉及一种新型光源控制器，包括电路板以及设置在电路板上的电源模块、调光模块、输入模块以及输出模块。调光模块包括升压芯片、多个调光芯片与多个Mos管，电源模块分别与外界电源以及升压芯片电性连接，升压芯片与调光芯片电性连接，调光芯片与Mos管电性连接。Mos管与输出模块连接，输入模块与调光芯片连接。其通过软件控制取代原手工旋钮调控，方便快捷，体积小巧，集成度高，并且由原来的PWM调光改为直流电压的变化调光，不产生电磁干扰，提高了光源控制器工作时的稳定性。
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公开(公告)号：CN214094774U
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202022649260.5
申请日：2020-11-16
Applicant: 橙河微系统科技(上海)有限公司
IPC: F24F6/02
Abstract: 本实用新型涉及一种免插电的湿度控制装置，包括载物台以及可拆卸固定在载物台上的加湿框，加湿框内设置有用于加湿载物台上仪器的胶状加湿块。在对仪器进行加湿处理时，先将胶状加湿块固定在加湿框内，然后将仪器放置在载物台上，由胶状加湿块对电机震动敏感的仪器内部进行小范围加湿，同时可以避免大范围空间调整湿度时对于金属器件的腐蚀损耗。并且此湿度控制装置不通电，无震动，可以在开放空间下进行精密的小范围加湿，加湿速度快，安全性较高，载物台与加湿框之间拆卸方便，实用性强。
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公开(公告)号：CN213517731U
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202022641461.0
申请日：2020-11-16
Applicant: 橙河微系统科技(上海)有限公司
IPC: G02B21/06
Abstract: 本实用新型涉及一种可调节八光区的环形光源装置，包括电路板以及一体成型固定连接在电路板一端的环形发光板，环形发光板上设置有均等划分的八个发光区域，每个发光区域排布三个LED灯珠以及一个与LED灯珠电性连接的开关电路。电路板上设置有控制芯片、电源输入接口以及亮度控制模块，控制芯片分别与电源输入接口以及亮度控制模块电性连接，亮度控制模块与八个开关电路连接。其将环形光源发光区域均匀的分为8个光区，每个光区可以独立的控制光源的亮起和关闭，最多可以提供8个方向的单侧光照明，在观测过程中无需调整样品的位置，通过点亮光区的数量来提供不同方向及强度的侧射光源，提供多角度的光照观察环境，便于样品缺陷形状的观测。
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