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公开(公告)号：CN117871195A
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311746699.1
申请日：2023-12-19
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化物解理二维材料的方法；该方法具体步骤如下：（1）将待解理的块体晶体材料与真空胶带紧密贴合在一起，并在晶体材料表面覆盖一层绝缘氧化物薄膜；（2）将热释放胶带提前加热释放到衬底上，形成一层热释放胶带残留层；（3）将晶体母带覆有氧化物薄膜的一面压到衬底上；（4）撕开真空胶带，由于热释放胶带残留层具有粘性，会将氧化物薄膜连同晶体一起粘在衬底上，晶体面暴露；（5）用传统解理用胶带不断对晶体进行减薄完成对晶体的解理。本发明转移步骤少，解理效率高；本发明避免了对晶体材料样品直接加热，可以保证晶体材料的稳定性，尤其适合遇热不稳定的晶体材料的解理。
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