一种用于光学轮廓仪的测量误差灵敏度分析方法

    公开(公告)号:CN119205888A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411231417.9

    申请日:2024-09-04

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 王伟 焦思程 徐敏

    Abstract: 本发明涉及仪器仪表设计领域,具体的为一种用于光学轮廓仪的测量误差灵敏度分析方法;包括以下步骤:S1、几何误差分析;S2、建立拓扑结构;S3、建立测量误差模型;S4、定义误差灵敏度评价指标;S5、误差灵敏度分析;S6、敏感误差识别;本发明基于光学轮廓仪的法向量测量特点,将具有六个分量的传统空间误差评价指标统一为了一个综合评价指标,同时综合考虑了传感器与待测工件间的位置偏差以及姿态偏差;可以更为准确、直观地获得光学轮廓仪的各项几何误差对于最终测量误差的影响程度,为光学轮廓仪的测量精度设计以及测量误差补偿提供有力依据,有助于提升光学轮廓仪的测量精度。

    一种用于回转对称零件测量的四轴光学轮廓仪

    公开(公告)号:CN118960614A

    公开(公告)日:2024-11-15

    申请号:CN202411231403.7

    申请日:2024-09-04

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明涉及仪器仪表设计技术领域,具体的为一种用于回转对称零件测量的四轴光学轮廓仪,包括床身,床身上设置有工件运动传递链和测头运动传递链;工件运动传递链包括依次连接的水平运动X轴、旋转C轴、夹具和待测工件,测头运动传递链包括依次连接的竖直运动Z轴、旋转B轴、连接杆和测头;本发明通过将两个直线运动轴进行合理的分离布局,从而有效减少了竖直运动轴的负载,有助于保证运动轴的精度,从而提高仪器整体测量精度。

    一种用于高陡度曲面工件内轮廓测量的传感器夹持装置

    公开(公告)号:CN118424144A

    公开(公告)日:2024-08-02

    申请号:CN202410552494.8

    申请日:2024-05-07

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于工装夹具技术领域,具体为一种用于高陡度曲面工件内轮廓测量的传感器夹持装置。本发明包括主轴转接板、连接轴、调节螺环、连接芯轴、电磁铁、传感器安装板、定位销以及导向螺钉以及锁紧螺钉等。主轴转接板、连接轴、调节螺环、连接芯轴、传感器安装板依次连接紧固;其中,主轴转接板、连接轴与传感器安装板形成曲柄结构,使得装置在测量过程中可有效避让待测工件,避免产生碰撞干涉,扩大传感器可达高陡度曲面测量区域;传感器安装板与连接芯轴间采用电磁吸附方式,针对不同类型工件的测量需求,可快速实现传感器模组的切换。本发明可实现高陡度曲面工件内轮廓大范围精密测量。

    一种平面反射镜胶合过程中垂直度误差监控方法

    公开(公告)号:CN116772747A

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN202310715836.9

    申请日:2023-06-16

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于光学对准技术领域,具体为平面反射镜胶合过程中垂直度误差监控方法。本发明采用由两组自准直仪以及一个标准立方体棱镜所组成的光学系统,实现待胶合反射镜间垂直度误差的监测与控制;光学系统包括两个自准直仪、用于放置两个待胶合平面反射镜的机架、标准立方体棱镜、多维调整台、光学平台及数据分析系统;数据分析系统根据两个自准直仪的测量数据,分析立方体棱镜四个工作面间的平行度误差,用于平面反射镜垂直度测量的补偿,分析胶合过程中两个长条平面反射镜之间的垂直度误差实时数据,并及时进行胶合工艺过程的调整。本发明可实现胶合过程中平面反射镜间垂直度误差的高精度监测,提高平面反射镜胶合质量。

Patent Agency Ranking