-
公开(公告)号：CN102243207A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110098129.7
申请日：2011-04-19
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体为一种用于电化学检测的电极表面具有纳米凹凸结构的电化学传感器及其制备方法。该传感器的电极设计制作成表面具有三维结构的电极，具体在衬底上使用微电子工艺制作Cu/Au/Ti薄膜，通过热退火使Cu/Au界面处金原子和铜原子强烈扩散，并结晶；再通过稀酸腐蚀，去掉薄膜表面的Cu原子及其铜的化合物，形成具有纳米级别凹凸结构的界面。该电极具有较大的表面积，纳米结构表面的电子极其活跃，提高了电极的灵敏度，且适应于快速检测。本发明可以广泛用于生物医药等多领域的检测。
-
公开(公告)号：CN101609063B
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：CN200910054886.7
申请日：2009-07-16
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体为一种用于电化学检测的微电极阵列芯片传感器。本发明使用硅基材料进行制造，芯片集成了电化学检测的工作电极、辅助电极和参比电极，具有很好的信噪比。辅助电极和工作电极构成环盘结构，辅助电极与工作电极间的距离小，提高了电极的灵敏度。多个工作电极成阵列分布，可以用于多通道检测。本发明可以广泛用于生物医药等多领域的检测。本发明采用MEMS工艺进行制造，工艺简单，成本低。
-
公开(公告)号：CN101609063A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200910054886.7
申请日：2009-07-16
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体为一种用于电化学检测的微电极阵列芯片传感器。本发明使用硅基材料进行制造，芯片集成了电化学检测的工作电极、辅助电极和参比电极，具有很好的信噪比。辅助电极和工作电极构成环盘结构，辅助电极与工作电极间的距离小，提高了电极的灵敏度。多个工作电极成阵列分布，可以用于多通道检测。本发明可以广泛用于生物医药等多领域的检测。本发明采用MEMS工艺进行制造，工艺简单，成本低。
-
-
Search Results
3
records
(took 0.012 seconds)
