公开(公告)号：CN113327866A

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN202010129757.6

申请日：2020-02-28

Applicant: 复旦大学

Inventor： 郭帅斐 ,  杨昉原 ,  马立国 ,  张远波

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/34 ,  H01L21/443

Abstract: 本发明提供一种二维器件真空制备系统及其方法。所述二维器件真空制备系统包括：预抽真空单元，用于传递二维材料，并包括用于进行抽真空的第一抽气装置；器件制备单元，能够与所述预抽真空单元相连通或断开，用于解离所述二维材料，并包括用于进行抽真空的第二抽气装置；电极蒸镀和薄膜生长单元，能够与所述器件制备单元相连通或断开，用于制作二维器件的电极，并包括用于进行抽真空的第三抽气装置；监控单元，用于对所述二维器件真空制备系统内二维器件的制备进行实时观察；以及自动化控制单元，用于对所述二维器件真空制备系统内二维器件的制备进行控制。

公开(公告)号：CN113327866B

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202010129757.6

申请日：2020-02-28

Applicant: 复旦大学

Inventor： 郭帅斐 ,  杨昉原 ,  马立国 ,  张远波

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/34 ,  H01L21/443

Abstract: 本发明提供一种二维器件真空制备系统及其方法。所述二维器件真空制备系统包括：预抽真空单元，用于传递二维材料，并包括用于进行抽真空的第一抽气装置；器件制备单元，能够与所述预抽真空单元相连通或断开，用于解离所述二维材料，并包括用于进行抽真空的第二抽气装置；电极蒸镀和薄膜生长单元，能够与所述器件制备单元相连通或断开，用于制作二维器件的电极，并包括用于进行抽真空的第三抽气装置；监控单元，用于对所述二维器件真空制备系统内二维器件的制备进行实时观察；以及自动化控制单元，用于对所述二维器件真空制备系统内二维器件的制备进行控制。