公开(公告)号：CN115000253A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202210771169.1

申请日：2022-07-02

Applicant: 复旦大学

Inventor： 田朋飞 ,  李琰哲 ,  单心怡 ,  崔旭高 ,  顾而丹

IPC: H01L33/00 ,  H01L27/15 ,  H01L33/50 ,  H01L33/60

Abstract: 本发明公开了一种全彩色micro‑LED阵列的制备方法，首先，制备单色micro‑LED阵列；然后，基于第一掩模板，在分布式布拉格反射镜表面溅射图案化薄银层；接着，基于第二掩模板，在反射镜表面进行刻蚀，形成图案化反射镜；使用预先制备好的转移打印头分别在覆盖量子点薄膜的硅片上拾取特定波长的量子点至图案化反射镜上；最后，将量子点转移后的反射镜对准micro‑LED阵列背面，点亮micro‑LED阵列得到全彩色显示的micro‑LED阵列。该方案能够避免不同像素间的相互污染和串扰，能够低成本、大面积、高分辨率地实现micro‑LED的全彩显示。

公开(公告)号：CN115621382A

公开(公告)日：2023-01-17

申请号：CN202211385222.0

申请日：2022-11-07

Applicant: 复旦大学

Inventor： 田朋飞 ,  李琰哲 ,  汪舟 ,  崔旭高 ,  顾而丹

IPC: H01L33/00 ,  H01L33/50 ,  H01L27/15

Abstract: 本发明公开了一种微型LED全彩色显示器件的制备方法，属于半导体光电器件领域，该方法包括：在蓝宝石衬底上制备白光micro‑LED阵列；在第一玻璃衬底上制备彩色滤光片；将彩色滤光片覆盖在白光micro‑LED阵列表面，得到基于白光micro‑LED阵列的全彩色显示器件。该方法能够避免繁琐的颜色转换工艺和micro‑LED器件巨量转移工艺，制备出大面积、高分辨率的微型LED全彩色显示器件。