环栅器件中Fin阵列及其制备方法、电子设备及制备方法

    公开(公告)号:CN116995031A

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202310911177.6

    申请日:2023-07-24

    Abstract: 本发明提供了一种环栅器件中Fin阵列的制备方法,包括:提供一衬底,在衬底上形成一堆叠层;采用第一刻蚀混合气体对堆叠层进行刻蚀,以在衬底上形成若干鳍结构,并同时形成第一聚合物保护膜;若干鳍结构沿第一方向排列;第一聚合物保护膜形成于若干鳍结构沿第一方向的侧壁上;采用第二刻蚀混合气体刻蚀若干鳍结构之间的衬底,同时形成第二聚合物薄膜以及STI空腔;STI空腔的形状为“倒梯形”;第二聚合物薄膜用于辅助形成“倒梯形”的STI空腔;第一聚合物保护膜用于保护对叠层不被刻蚀。本发明提供的技术方案解决了在提高Fin结构的抗弯曲能力的同时,避免了第二次刻蚀过程中出现的对堆叠层的横向选择性刻蚀的问题。

    基于角度色散原理的偏振转化装置

    公开(公告)号:CN110568624B

    公开(公告)日:2021-06-04

    申请号:CN201910755863.2

    申请日:2019-08-15

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于特异介质技术领域,具体为一种基于角度色散原理的偏振转化装置。本发明偏振转化装置由M‑I‑M结构和旋转器组成;M‑I‑M结构中,上层金属层是超表面阵列;旋转器由基座、平移装置和样品台组成;样品台具有垂直方向和水平方向的调节螺母,通过旋转螺母可以改变入射光照射到样品上的角度;通过调节单元与单元之间的耦合,实现材料对于不同入射角的电磁波产生不同的响应,包括在线偏振入射情况下,对于不同入射角的入射光,出射光转化为对应的线偏光、椭偏光、圆偏光。本发明采用金属共振结构,利用平面电磁共振来剧烈地调控电磁波的相位变化,在亚波长尺度下也可以自由地调控电磁波;而且结构简单,厚度大大减少。

    基于角度色散原理的偏振转化装置

    公开(公告)号:CN110568624A

    公开(公告)日:2019-12-13

    申请号:CN201910755863.2

    申请日:2019-08-15

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于特异介质技术领域,具体为一种基于角度色散原理的偏振转化装置。本发明偏振转化装置由M-I-M结构和旋转器组成;M-I-M结构中,上层金属层是超表面阵列;旋转器由基座、平移装置和样品台组成;样品台具有垂直方向和水平方向的调节螺母,通过旋转螺母可以改变入射光照射到样品上的角度;通过调节单元与单元之间的耦合,实现材料对于不同入射角的电磁波产生不同的响应,包括在线偏振入射情况下,对于不同入射角的入射光,出射光转化为对应的线偏光、椭偏光、圆偏光。本发明采用金属共振结构,利用平面电磁共振来剧烈地调控电磁波的相位变化,在亚波长尺度下也可以自由地调控电磁波;而且结构简单,厚度大大减少。

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