法布里帕罗结构耦合腔传感芯片及其制备方法和检测系统

    公开(公告)号:CN115184278A

    公开(公告)日:2022-10-14

    申请号:CN202210693991.0

    申请日:2022-06-19

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于光学传感器技术领域,具体为一种基于光学游标效应的法布里帕罗结构耦合腔传感芯片及其制备方法和测试系统。本发明的传感芯片包括三块平面反射镜以及两个方形石英微管;两块平面反射镜与两个方形石英微管中间形成传感腔;中间平面反射镜与下部平面反射镜形成参考腔;方形石英微管为中空结构,两端开口,可以与微流空系统结合;本发明可将传统法布里帕罗谐振腔传感芯片的灵敏度进行20‑40倍的放大,避免了传统法布里帕罗谐振腔传感器对高品质因子的需求,可以实现对于超低微量浓度、超小物理量的化学生物试剂的检测;此法布里帕罗结构耦合腔制作方便,操作简单,整体设计成本较低。

    法布里帕罗微腔传感芯片及其制备方法和分子检测系统

    公开(公告)号:CN115015170A

    公开(公告)日:2022-09-06

    申请号:CN202210595327.2

    申请日:2022-05-28

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于光学传感器技术领域,具体为一种用于气体分子、生物分子检测的法布里帕罗微腔传感芯片及其制备方法和检测系统。本发明传感芯片包括制备有微泡的毛细石英管以及微泡表面镀覆的高反射率薄膜;微泡为中空结构;微泡表面的反射膜及微泡液芯区域形成法布里帕罗微腔。本发明基于微泡的透镜效应,克服了传统法布里帕罗谐振腔对平面反射镜之间高平行度的要求,减小了腔内谐振模式的体积,增加了腔内的光能量密度,使光与物质之间的相互作用增强;结合气体分子、生物分子对特定波段的光吸收特性以及比尔朗伯定律,实现对于超低浓度化学气体分子或生物分子的高灵敏度以及微量、痕量分析物检测。传感芯片结构简单,制备方便,且重复利用率高。

    法布里珀罗型方形管传感器及其制备方法和检测系统

    公开(公告)号:CN117269113A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311210727.8

    申请日:2023-09-19

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于光学传感器技术领域,具体为一种法布里珀罗型光学微腔传感器及其制备方法和检测系统。本发明微腔传感器包括中空结构的方形毛细管、镀覆在方形毛细管两侧面的高反射率薄膜,形成法布里珀罗平行平面谐振腔;毛细管可与微流控系统连接用于待测分析物的检测;基于本光学微腔传感器的检测系统,包括传感光路和成像光路,用于生物分子或气体分子的检测,光学走离损耗有效的减小,检测高灵敏高;基于谐振腔谐振条件和比尔朗伯定律分别实现对于微量甚至痕量液体和气体分析物的特异性检测。

    微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN114965360A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210514302.5

    申请日:2022-05-11

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于光学传感检测技术领域,具体为一种微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片及其制备方法。本发明光学传感芯片包括:两块平面反射镜、中间有中空微泡的石英微管、两根方形石英管;两块平面反射镜上、下平行放置,两根方形石英管设置于两块平面反射镜左右两边,保证两块反射镜保持高度平行;中空石英微泡设置于两块平面反射镜之间,两端与平面反射镜之间粘合固定,形成微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片;平面反射镜表面镀有特定反射率的金属薄膜或介质薄膜。本发明基于微泡的透镜效应,使传感芯片具备高灵敏度、低模式体积和高品质因子的特性,同时集成天然的微流通道,实现低浓度化学分子或者无标记生物分子传感。

    一种仿生光学纤毛触觉传感器及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN116337295A

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202310192858.1

    申请日:2023-03-03

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于光学检测技术领域,具体为一种仿生光学纤毛触觉传感器及其制备方法和应用。本发明传感器由拉锥光纤、空心石英微泡结构和外包裹的紫外胶组成;空心石英微泡结构包括石英毛细管及其端部的空心石英微泡;空心石英微泡和拉锥光纤的耦合部分被包裹在紫外胶的中心区域;石英毛细管作为外力作用的传感部件;石英微泡作为光学谐振腔。在传感时,由于石英毛细管对机械力的传导作用,位于毛细管端部的石英微泡腔发生形变,导致激光在微泡腔内的谐振波长发生偏移,根据偏移量大小来判断机械力和位移量。本发明具有超高的品质因数;且采用光信号传感,不受电磁干扰影响,可满足严禁烟火等特殊场合所需的高灵敏度、高响应速度特性要求。

    法布里珀罗型方形毛细石英管光学微腔传感器和检测系统

    公开(公告)号:CN220854645U

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202322547388.4

    申请日:2023-09-19

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本实用新型属于光学传感器技术领域,具体为一种法布里珀罗型方形毛细石英管光学微腔传感器和检测系统。本实用新型微腔传感器包括中空结构的方形毛细管、镀覆在方形毛细管两侧面的高反射率薄膜,形成法布里珀罗平行平面谐振腔;毛细管可与微流控系统连接用于待测分析物的检测;基于本光学微腔传感器的检测系统,包括传感光路和成像光路,用于生物分子或气体分子的检测,光学走离损耗有效的减小,检测高灵敏高;基于谐振腔谐振条件和比尔朗伯定律分别实现对于微量甚至痕量液体和气体分析物的特异性检测。

    基于光学游标效应的法布里帕罗结构耦合腔传感芯片

    公开(公告)号:CN217738984U

    公开(公告)日:2022-11-04

    申请号:CN202221528474.X

    申请日:2022-06-19

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本实用新型属于光学传感器技术领域,具体为一种基于光学游标效应的法布里帕罗结构耦合腔传感芯片。本实用新型的传感芯片包括三块平面反射镜以及两个方形石英微管;两块平面反射镜与两个方形石英微管中间形成传感腔;中间平面反射镜与下部平面反射镜形成参考腔;方形石英微管为中空结构,两端开口,可以与微流空系统结合;本实用新型可将传统法布里帕罗谐振腔传感芯片的灵敏度进行20‑40倍的放大,避免了传统法布里帕罗谐振腔传感器对高品质因子的需求,可以实现对于超低微量浓度、超小物理量的化学生物试剂的检测;此法布里帕罗结构耦合腔制作方便,操作简单,整体设计成本较低。

    微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片

    公开(公告)号:CN217542863U

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202221132748.3

    申请日:2022-05-11

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本实用新型属于光学传感检测技术领域,具体为一种微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片。本实用新型光学传感芯片包括:两块平面反射镜、中间有中空微泡的石英微管、两根方形石英管;两块平面反射镜上、下平行放置,两根方形石英管设置于两块平面反射镜左右两边,保证两块反射镜保持高度平行;中空石英微泡设置于两块平面反射镜之间,两端与平面反射镜之间粘合固定,形成微泡集成型法布里帕罗结构谐振腔传感芯片;平面反射镜表面镀有特定反射率的金属薄膜或介质薄膜。本实用新型基于微泡的透镜效应,使传感芯片具备高灵敏度、低模式体积和高品质因子的特性,同时集成天然的微流通道,实现低浓度化学分子或者无标记生物分子传感。

    气体、生物分子检测用的法布里帕罗微腔传感芯片及系统

    公开(公告)号:CN218629504U

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202221396702.2

    申请日:2022-05-28

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本实用新型属于光学传感器技术领域,具体为一种用于气体分子、生物分子检测的法布里帕罗微腔传感芯片。本实用新型传感芯片包括制备有微泡的毛细石英管以及微泡表面镀覆的高反射率薄膜;微泡为中空结构;微泡表面的反射膜及微泡液芯区域形成法布里帕罗微腔。本实用新型基于微泡的透镜效应,克服了传统法布里帕罗谐振腔对平面反射镜之间高平行度的要求,减小了腔内谐振模式的体积,增加了腔内的光能量密度,使光与物质之间的相互作用增强;结合气体分子、生物分子对特定波段的光吸收特性以及比尔朗伯定律,实现对于超低浓度化学气体分子或生物分子的高灵敏度以及微量、痕量分析物检测。传感芯片结构简单,制备方便,且重复利用率高。

    一种仿生光学纤毛触觉传感器

    公开(公告)号:CN219328543U

    公开(公告)日:2023-07-11

    申请号:CN202320370193.4

    申请日:2023-03-03

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本实用新型属于光学检测技术领域,具体为一种仿生光学纤毛触觉传感器。本实用新型传感器由拉锥光纤、空心石英微泡结构和外包裹的紫外胶组成;空心石英微泡结构包括石英毛细管及其端部的空心石英微泡;空心石英微泡和拉锥光纤的耦合部分被包裹在紫外胶的中心区域;石英毛细管作为外力作用的传感部件;石英微泡作为光学谐振腔。在传感时,由于石英毛细管对机械力的传导作用,位于毛细管端部的石英微泡腔发生形变,导致激光在微泡腔内的谐振波长发生偏移,根据偏移量大小来判断机械力和位移量。本实用新型具有超高的品质因数;且采用光信号传感,不受电磁干扰影响,可满足严禁烟火等特殊场合所需的高灵敏度、高响应速度特性要求。

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