公开(公告)号：CN117947383A

公开(公告)日：2024-04-30

申请号：CN202211285504.3

申请日：2022-10-20

Applicant: 复旦大学

Inventor： 衣睿宸 ,  朱春琴 ,  朱光瑞 ,  侯晓远

IPC: C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  C23C14/34

Abstract: 本公开涉及用于在样品上沉积聚对二甲苯膜的沉积系统。沉积系统包括沉积室和第一真空泵子系统。沉积室包括：第一法兰接口、第二法兰接口、第三法兰接口，第一法兰接口被配置作为向沉积室传送样品和从沉积室传送样品的出入口；样品托，设置在沉积室中并被配置为放置样品；筒状冷阱，在沉积室中围绕样品托设置，并在面向第一法兰接口的一侧设置有开口以允许样品穿过开口进出样品托；聚对二甲苯裂解源，安装在沉积室的面向样品托的第二法兰接口上，并被配置为向放置在样品托内的样品沉积聚对二甲苯膜。第一真空泵子系统连接至沉积室的第三法兰接口并被配置为提供沉积室的真空状态。

公开(公告)号：CN117979774A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202211285511.3

申请日：2022-10-20

Applicant: 复旦大学

Inventor： 衣睿宸 ,  朱春琴 ,  朱光瑞 ,  侯晓远

IPC: H10K71/00 ,  H10K50/844 ,  H01S5/028 ,  H01S5/34

Abstract: 本公开涉及用聚对二甲苯原位封装胶体量子点光电器件的系统及方法。该系统包括用于制备胶体量子点光电器件的处于惰性气体氛围的手套箱、与手套箱经由阀门连接的沉积室、与沉积室连接的第一真空泵系统、以及分别与手套箱和沉积室连接的惰性气体源。沉积室包括设置在沉积室中并被配置为放置从手套箱传送进入沉积室的胶体量子点光电器件的样品托，在沉积室中围绕样品托设置并在面向手套箱一侧设有开口以允许胶体量子点光电器件穿过开口进出样品托的筒状冷阱，以及被配置为向放置在样品托内的胶体量子点光电器件沉积聚对二甲苯膜的聚对二甲苯裂解源。

公开(公告)号：CN218977194U

公开(公告)日：2023-05-05

申请号：CN202222764333.4

申请日：2022-10-20

Applicant: 复旦大学

Inventor： 衣睿宸 ,  朱春琴 ,  朱光瑞 ,  侯晓远

IPC: H10K71/00 ,  H10K50/844 ,  H01S5/028 ,  H01S5/34

Abstract: 本公开涉及用于使用聚对二甲苯原位封装胶体量子点光电器件的系统。该系统包括用于制备胶体量子点光电器件的处于惰性气体氛围的手套箱、与手套箱经由阀门连接的沉积室、与沉积室连接的第一真空泵系统、以及分别与手套箱和沉积室连接的惰性气体源。沉积室包括设置在沉积室中并被配置为放置从手套箱传送进入沉积室的胶体量子点光电器件的样品托，在沉积室中围绕样品托设置并在面向手套箱一侧设有开口以允许胶体量子点光电器件穿过开口进出样品托的筒状冷阱，以及被配置为向放置在样品托内的胶体量子点光电器件沉积聚对二甲苯膜的聚对二甲苯裂解源。