公开(公告)号：CN104776980A

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201510099887.9

申请日：2015-03-07

Applicant: 复旦大学

Inventor： 张善端 ,  韩秋漪 ,  张豪俊

IPC: G01M11/02

Abstract: 本发明属于紫外光源测试技术领域，具体为一种基于真空室的真空紫外光源测试系统。本发明测试系统，包括一个真空室、真空泵、灯架和紫外辐射测试设备等。真空室采用金属材料制成，内表面进行黑化处理；真空室通过法兰与真空泵连接，同时有一个充气阀与一个放气阀，可以向真空室内填充高纯氮气、氩气等不吸收紫外和真空紫外的气体，并装配有测量低真空度的电阻规、测量高真空度的电离规和测量水蒸气、氧气含量的探头；真空室用法兰封装恒温水浴的水管以控制光源的冷端温度；采用紫外辐照度计和光纤来测量真空紫外和200nm以上紫外辐射；与真空单色仪的入射缝法兰连接，组成联合测试系统，同时测定各类真空紫外光源的相对光谱功率分布、绝对辐射功率和辐射效率。

公开(公告)号：CN204694447U

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：CN201520131373.2

申请日：2015-03-07

Applicant: 复旦大学

Inventor： 张善端 ,  韩秋漪 ,  张豪俊

IPC: G01M11/02

Abstract: 本实用新型属于紫外光源测试技术领域，具体为一种基于真空室的真空紫外光源测试系统。本测试系统，包括一个真空室、真空泵、灯架和紫外辐射测试设备等。真空室采用金属材料制成，内表面进行黑化处理；真空室通过法兰与真空泵连接，同时有一个充气阀与一个放气阀，可以向真空室内填充高纯氮气、氩气等不吸收紫外和真空紫外的气体，并装配有测量低真空度的电阻规、测量高真空度的电离规和测量水蒸汽、氧气含量的探头；真空室用法兰封装恒温水浴的水管以控制光源的冷端温度；采用紫外辐照度计和光纤来测量真空紫外和200nm以上紫外辐射；与真空单色仪的入射缝法兰连接，组成联合测试系统，同时测定各类真空紫外光源的相对光谱功率分布、绝对辐射功率和辐射效率。