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公开(公告)号:CN105572423B
公开(公告)日:2018-06-26
申请号:CN201610042953.3
申请日:2016-01-22
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: G01Q30/18
Abstract: 本发明属于扫描探针显微镜技术领域,具体是一种基于无液氦消耗室温孔超导磁体的强磁场扫描探针显微镜。本发明包括无液氦消耗的室温孔超导磁体、扫描探针显微镜和计算机控制系统;所述室温孔超导磁体包括无液氦消耗的闭循环制冷机、超导磁体和具备室温孔的腔室;所述扫描探针显微镜包括扫描头、真空腔室、隔振平台。本发明采用由制冷机制冷的室温孔超导磁体,摆脱了强磁场运行对液氦的依赖;与制冷机相连的超导磁体和扫描探针显微镜之间无物理接触,制冷机的机械振动不会直接传到扫描探针显微镜上,可以实现扫描探针显微镜的原子级分辨能力;扫描探针显微镜的温度不受制于超导磁体工作运行时要求的低温条件;扫描探针显微镜及其真空腔体可以独立于超导磁体进行高温烘烤,满足实现超高真空的条件。
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公开(公告)号:CN105571190B
公开(公告)日:2019-05-31
申请号:CN201610002349.8
申请日:2016-01-06
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: F25B9/14 , F25B9/002 , F25B9/145 , F25B49/02 , F25B2309/001 , F25B2309/14 , F25B2309/1428
Abstract: 本发明属于极低温制冷设备技术领域,具体为一种机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统。本发明系统包括:闭循环制冷机系统,氦气热交换气致冷隔振系统,极低温节流阀制冷系统和温度反馈控制系统。本发明提供的制冷方式能够在不需要消耗液氦的条件下实现低至1.4 K(基于氦4媒质)或0.2 K(基于氦3媒质)的极低温,同时能够非常有效的隔离闭循环制冷机系统固有的机械振动;通过温度反馈控制系统能够实现变温调控。本发明还可适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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公开(公告)号:CN106679217B
公开(公告)日:2020-08-28
申请号:CN201611170525.5
申请日:2016-12-16
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域,具体为一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统。本发明系统包括:闭循环制冷机系统,液氦再凝聚致冷隔振系统和温度反馈控制系统。本发明采用闭循环制冷机系统,在几乎无氦气和液氦消耗的条件下实现低至4.2 K的低温。本发明通过液氦再凝聚致冷隔振系统生成和维持液氦,不但有效隔绝了闭循环制冷机运行时产生的低频振动,还解决了传统闭循环制冷机温度波动大的问题。本发明通过温度反馈控制系统,不但能控制再凝聚产生液氦的液面高度,还能够实现变温调控。本发明适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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公开(公告)号:CN106679217A
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201611170525.5
申请日:2016-12-16
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: F25B9/14 , F25B49/02 , F25B2309/1428 , F25B2500/13 , F25B2700/04 , F25B2700/21 , F25B2700/2116
Abstract: 本发明属于低温制冷设备技术领域,具体为一种机械振动隔离的液氦再凝聚低温制冷系统。本发明系统包括:闭循环制冷机系统,液氦再凝聚致冷隔振系统和温度反馈控制系统。本发明采用闭循环制冷机系统,在几乎无氦气和液氦消耗的条件下实现低至4.2 K的低温。本发明通过液氦再凝聚致冷隔振系统生成和维持液氦,不但有效隔绝了闭循环制冷机运行时产生的低频振动,还解决了传统闭循环制冷机温度波动大的问题。本发明通过温度反馈控制系统,不但能控制再凝聚产生液氦的液面高度,还能够实现变温调控。本发明适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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公开(公告)号:CN105572423A
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201610042953.3
申请日:2016-01-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于扫描探针显微镜技术领域,具体是一种基于无液氦消耗室温孔超导磁体的强磁场扫描探针显微镜。本发明包括无液氦消耗的室温孔超导磁体、扫描探针显微镜和计算机控制系统;所述室温孔超导磁体包括无液氦消耗的闭循环制冷机、超导磁体和具备室温孔的腔室;所述扫描探针显微镜包括扫描头、真空腔室、隔振平台。本发明采用由制冷机制冷的室温孔超导磁体,摆脱了强磁场运行对液氦的依赖;与制冷机相连的超导磁体和扫描探针显微镜之间无物理接触,制冷机的机械振动不会直接传到扫描探针显微镜上,可以实现扫描探针显微镜的原子级分辨能力;扫描探针显微镜的温度不受制于超导磁体工作运行时要求的低温条件;扫描探针显微镜及其真空腔体可以独立于超导磁体进行高温烘烤,满足实现超高真空的条件。
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公开(公告)号:CN105571190A
公开(公告)日:2016-05-11
申请号:CN201610002349.8
申请日:2016-01-06
Applicant: 复旦大学
CPC classification number: F25B9/14 , F25B9/002 , F25B9/145 , F25B49/02 , F25B2309/001 , F25B2309/14 , F25B2309/1428
Abstract: 本发明属于极低温制冷设备技术领域,具体为一种机械振动隔离的无液氦消耗极低温制冷系统。本发明系统包括:闭循环制冷机系统,氦气热交换气致冷隔振系统,极低温节流阀制冷系统和温度反馈控制系统。本发明提供的制冷方式能够在不需要消耗液氦的条件下实现低至1.4 K(基于氦4媒质)或0.2 K(基于氦3媒质)的极低温,同时能够非常有效的隔离闭循环制冷机系统固有的机械振动;通过温度反馈控制系统能够实现变温调控。本发明还可适用于需要经高温烘烤的超高真空环境。
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