公开(公告)号：CN119306176A

公开(公告)日：2025-01-14

申请号：CN202411380812.3

申请日：2024-09-30

Applicant: 复旦大学

Inventor： 任俊彦 ,  王言 ,  吕宁

IPC: B81C3/00 ,  B81B3/00 ,  B81B7/02 ,  H10N30/063 ,  H10N30/067 ,  B06B1/06

Abstract: 本发明属于微机械技术领域，具体是一种兼容压电式和电容式微机械超声换能器的制备方法。本发明微机械超声换能器制备方法分为硅硅键合工艺和阳极键合工艺；微机械超声换能器分为电容式、压电式、压电‑电容混合式；压电式单元结构包括衬底层、空腔层、弹性层、中间电极层、压电层、顶电极层、钝化层和焊盘；电容式单元结构包括衬底层、底电极层、空腔层、弹性层、中间电极层和焊盘；压电‑电容混合式单元结构包括衬底层、底电极层、空腔层、弹性层、中间电极层、压电层、顶电极层、钝化层和焊盘。本发明可以实现上述三种器件的加工，并且能在同一片晶圆兼容。其中压电‑电容混合式突破了传统压电式和电容式微机械超声换能器的环路灵敏度瓶颈。

公开(公告)号：CN116764922A

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN202310564462.5

申请日：2023-05-18

Applicant: 复旦大学

Inventor： 任俊彦 ,  何勒铭 ,  吕宁 ,  王言

IPC: B06B1/06

Abstract: 本发明属于微机电技术领域，具体为一种平面式双压电材料驱动的微机械超声换能器。本发明微机械超声换能器由换能器单元经延拓组成的二维结构；换能器单元结构包括双压电叠层、中性层、空腔和衬底；双压电叠层包含内外两个压电叠层，第一个压电叠层包括圆形上电极层、圆形压电层与底电极层，第二个压电叠层包括环形上电极层、环形压电层与底电极层；中性层在双压电叠层下方，为后者提供支撑作用；空腔为复合薄膜提供振动空间；衬底与空腔的结构互补，为整体结构提供固定支撑作用；本发明具有双压电叠层的换能器单元，弥补采用单一压电材料的传统器件的发射或接收性能短板，提高换能器的发射—接收环路灵敏度，提升其回波超声成像的质量。