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公开(公告)号：CN1180447A
公开(公告)日：1998-04-29
申请号：CN97190141.4
申请日：1997-03-04
Applicant: 塞姆特里克斯公司 , 松下电子工业株式会社
Inventor： 林慎一郎 , 拉里·D·麦克米伦 , 吾妻正道 , 卡洛斯·A·帕斯·得阿劳霍
IPC: H01L21/3205
Abstract: 将液体底层涂料雾化并使其流入到沉积室(2)中并沉积在衬底(5)上。将液体前体(64)雾化,使其流入到沉积室(2)中并沉积在衬底(5)上。该底层涂料及前体被干燥并形成固体薄膜,然后该薄膜被退火并形成一集成电路(1110)中电子元件(1112)的一部分,例如另一存储器单元中的电介质。底层涂料是一种溶剂,及前体包括前体溶剂中的金属羧酸盐,金属醇盐或金属烷氧基羧酸盐。最好,底层涂料及前体的溶剂是相同的溶剂,如2－甲氧基乙醇、二甲苯类,n－乙酸丁酯及六甲基－二硅氧烷。
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