公开(公告)号：CN113242956A

公开(公告)日：2021-08-10

申请号：CN201980082059.0

申请日：2019-11-18

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 森泰平

IPC: G01B15/00 ,  H01L21/66 ,  G01N23/2251 ,  G06K9/62 ,  G06F30/27 ,  G06N3/04 ,  G06T1/20

Abstract: 本发明涉及用于进行设计数据上的图案与图像上的图案的对位的图像匹配处理，特别涉及使用通过机器学习构建的模型的图像匹配处理。本方法将设计数据上的指定的CAD图案转换为CAD图像(301)，将CAD图像(301)输入到通过机器学习构建的模型中，按照由模型定义的算法执行计算，由此从模型输出疑似图像(321)，从由图像生成装置(100)生成的图像上的多个图案中，确定具有与疑似图像(321)上的CAD图案(322)的形状最接近的形状的图案。

公开(公告)号：CN119234288A

公开(公告)日：2024-12-31

申请号：CN202380040543.3

申请日：2023-04-26

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 森泰平

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/24 ,  G06T7/00 ,  G06T5/70 ,  G06V10/30 ,  G06N5/01 ,  G06N20/00

Abstract: 本发明涉及用于降低由扫描电子显微镜生成的图像上的噪声的图像噪声降低方法。本图像噪声降低方法是，利用所述扫描电子显微镜生成样品的基准图像，对所述基准图像添加人工噪声以生成人工噪声图像，并将以在扫描电子显微镜的电子束的扫描方向上拉伸人工噪声的方式构成的各向异性滤波器应用于人工噪声图像，由此生成人工低画质图像，通过使用包含基准图像和人工低画质图像的训练数据来执行机器学习，从而生成去噪模型，利用扫描电子显微镜生成成为半导体器件的检查和形状测量的对象的工件的图像，将工件的图像输入去噪模型，从去噪模型输出去噪图像。