公开(公告)号：CN111902844B

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN201980021715.6

申请日：2019-03-04

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 大家政洋

IPC: G06T7/13 ,  G01N21/88

Abstract: 本发明涉及一种能够应用于使用图案的设计数据来进行图案检查的半导体检查装置的图案边缘检测方法。在本方法中，生成图案的图像，基于根据图案的设计数据生成的基准图案来检测图像上的图案的边缘，重复进行图案的图像的生成与图像上的图案的边缘的检测，制作由多个图像与对应的多个图案边缘构成的训练数据候选，通过从训练数据候选排除满足预先确定的不合格条件的图案边缘和对应的图像，从而确定训练数据，使用训练数据，通过机器学习而生成边缘检测模型，生成其他图案的图像，使用边缘检测模型来检测图像上的其他图案的边缘。

公开(公告)号：CN111902844A

公开(公告)日：2020-11-06

申请号：CN201980021715.6

申请日：2019-03-04

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 大家政洋

IPC: G06T7/13 ,  G01N21/88

Abstract: 本发明涉及一种能够应用于使用图案的设计数据来进行图案检查的半导体检查装置的图案边缘检测方法。在本方法中，生成图案的图像，基于根据图案的设计数据生成的基准图案来检测图像上的图案的边缘，重复进行图案的图像的生成与图像上的图案的边缘的检测，制作由多个图像与对应的多个图案边缘构成的训练数据候选，通过从训练数据候选排除满足预先确定的不合格条件的图案边缘和对应的图像，从而确定训练数据，使用训练数据，通过机器学习而生成边缘检测模型，生成其他图案的图像，使用边缘检测模型来检测图像上的其他图案的边缘。