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发明公开
图案边缘检测方法、图案边缘检测装置、记录有用于让计算机执行图案边缘检测的程序的记录介质审中-实审

公开(公告)号：CN114945801A

公开(公告)日：2022-08-26

申请号：CN202080092004.0

申请日：2020-12-10

Applicant: 塔斯米特株式会社

Inventor： 冈本阳介

IPC: G01B15/04 , G01N23/2251 , G06T7/00 , G06T7/13

Abstract: 本发明涉及从由扫描电子显微镜生成的图像中检测与半导体制造有关的在晶圆或掩膜等工件上形成的图案的边缘(轮廓线)的方法。图案边缘检测方法中，生成在工件上形成的目标图案的对象图像，生成表示对象图像的各像素的多个特征量的特征向量，将特征向量输入至通过机器学习构建出的模型，从模型输出表示具有特征向量的像素为边缘的像素还是非边缘的像素的判定结果，将得到了表示边缘的像素的判定结果的具有特征向量的多个像素以线相连来生成假想边缘。

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