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公开(公告)号:CN110494589A
公开(公告)日:2019-11-22
申请号:CN201780089352.0
申请日:2017-04-04
Applicant: 堺显示器制品株式会社
Abstract: 由实施方式公开的蒸镀装置,成为利用电磁铁(3)吸附蒸镀掩模的构造,包含控制电路(7),其将驱动电磁铁(3)的电源电路(6)与电磁铁(3)之间连接,使向电磁铁(3)的电流的施加时由电磁铁(3)产生的磁场平缓地变化。其结果,在电磁铁(3)的电磁线圈(32)中流过的电流的变化变得平缓,抑制由电磁感应产生的影响,抑制在被蒸镀基板上形成的元件等的不良或元件特性的劣化。
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公开(公告)号:CN113737128A
公开(公告)日:2021-12-03
申请号:CN202111028520.X
申请日:2017-01-31
Applicant: 堺显示器制品株式会社
Abstract: 一种蒸镀掩模(100)的制造方法,所述蒸镀掩模(100)具备树脂层(10)和形成在树脂层(10)上的磁性金属体(20),其包含如下工序:(A)准备具有至少一个第一开口部(25)的磁性金属体(20)的工序;(B)准备基板(60)的工序;(C)在对基板(60)的表面赋予含有树脂材料的溶液或树脂材料的清漆后,通过进行热处理而形成树脂层(10)的工序;(D)将基板(60)上所形成的树脂层(10)以覆盖至少一个第一开口部(25)的方式固定于磁性金属体(20)上的工序;(E)在树脂层(10)中的位于磁性金属体(20)的至少一个第一开口部(25)内的区域形成多个第二开口部(13)的工序;(F)在工序(E)之后,自树脂层(10)剥离基板(60)的工序。
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公开(公告)号:CN110234783A
公开(公告)日:2019-09-13
申请号:CN201780085302.5
申请日:2017-01-31
Applicant: 堺显示器制品株式会社
Abstract: 一种蒸镀掩模(100)的制造方法,所述蒸镀掩模(100)具备树脂层(10)和形成在树脂层(10)上的磁性金属体(20),其包含如下工序:(A)准备具有至少一个第一开口部(25)的磁性金属体(20)的工序;(B)准备基板(60)的工序;(C)在对基板(60)的表面赋予含有树脂材料的溶液或树脂材料的清漆后,通过进行热处理而形成树脂层(10)的工序;(D)将基板(60)上所形成的树脂层(10)以覆盖至少一个第一开口部(25)的方式固定于磁性金属体(20)上的工序;(E)在树脂层(10)中的位于磁性金属体(20)的至少一个第一开口部(25)内的区域形成多个第二开口部(13)的工序;(F)在工序(E)之后,自树脂层(10)剥离基板(60)的工序。
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公开(公告)号:CN110234783B
公开(公告)日:2021-09-21
申请号:CN201780085302.5
申请日:2017-01-31
Applicant: 堺显示器制品株式会社
Abstract: 一种蒸镀掩模(100)的制造方法,所述蒸镀掩模(100)具备树脂层(10)和形成在树脂层(10)上的磁性金属体(20),其包含如下工序:(A)准备具有至少一个第一开口部(25)的磁性金属体(20)的工序;(B)准备基板(60)的工序;(C)在对基板(60)的表面赋予含有树脂材料的溶液或树脂材料的清漆后,通过进行热处理而形成树脂层(10)的工序;(D)将基板(60)上所形成的树脂层(10)以覆盖至少一个第一开口部(25)的方式固定于磁性金属体(20)上的工序;(E)在树脂层(10)中的位于磁性金属体(20)的至少一个第一开口部(25)内的区域形成多个第二开口部(13)的工序;(F)在工序(E)之后,自树脂层(10)剥离基板(60)的工序。
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