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发明公开
成膜装置、蒸镀膜的成膜方法以及有机EL显示装置的制造方法无效

公开(公告)号：CN111788330A

公开(公告)日：2020-10-16

申请号：CN201880079507.7

申请日：2018-03-08

Applicant: 堺显示器制品株式会社

Inventor： 尾方秀谦 , 崎尾进 , 岸本克彦

IPC: C23C14/24

Abstract: 本发明的实施方式的成膜装置包括：基板支架，其以相对水平面竖立的状态保持基板，基板具有应形成蒸镀膜的被蒸镀面；蒸发源，其设置在由基板支架保持的基板的被蒸镀面应朝向的区域内，蒸发源相对于基板支架在上下方向的至少一个方向上相对移动的同时，蒸发源向被蒸镀面喷射蒸镀材料；基板支架被构成为，在基板的上端远离蒸发源的方向上，使得基板相对于铅直面倾斜的构成，成膜装置还包括调节装置，其基于基板的倾斜减少蒸镀膜的被蒸镀面上的膜厚的变动。

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