金属涂层沉积方法与装置

    公开(公告)号:CN103052736A

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN201180034056.3

    申请日:2011-07-06

    CPC classification number: B05C11/00 B05D1/18 C23C18/1617 C23C18/54

    Abstract: 就简化浴的加工而言,提议了一种用于将第一金属的涂层沉积在暴露第二金属的工件12上的方法,该方法包括以下方法步骤:a)提供含浴组分的浴液16,该浴组分包含待沉积的第一金属的离子、至少一种用于第二金属的络合剂、及至少一种酸,b)将得自浴液16的第一金属的涂层沉积至工件12上,c)将浴液16供给沉降槽18内,d)在沉降槽18内冷却浴液16,以产生包含第二金属及至少一种络合剂的沉淀物,以及滤液,f)使滤液返回到浴液16,及g)再将浴组分补充至浴液16。根据本发明方法的特征在于,就从滤液进行沉淀物的分离而言,通过过滤器而产生压差。

    金属涂层沉积方法与装置

    公开(公告)号:CN103052736B

    公开(公告)日:2016-08-03

    申请号:CN201180034056.3

    申请日:2011-07-06

    CPC classification number: B05C11/00 B05D1/18 C23C18/1617 C23C18/54

    Abstract: 就简化浴的加工而言,提议了一种用于将第一金属的涂层沉积在暴露第二金属的工件12上的方法,该方法包括以下方法步骤:a)提供含浴组分的浴液16,该浴组分包含待沉积的第一金属的离子、至少一种用于第二金属的络合剂、及至少一种酸,b)将得自浴液16的第一金属的涂层沉积至工件12上,c)将浴液16供给沉降槽18内,d)在沉降槽18内冷却浴液16,以产生包含第二金属及至少一种络合剂的沉淀物,以及滤液,f)使滤液返回到浴液16,及g)再将浴组分补充至浴液16。根据本发明方法的特征在于,就从滤液进行沉淀物的分离而言,通过过滤器而产生压差。

Patent Agency Ranking