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公开(公告)号：CN104321271A
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201380027002.3
申请日：2013-06-11
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: C23C2/04 , B05C3/02 , B05C11/1007 , B05D1/18 , G01N27/447 , G01Q60/42 , G01Q80/00
Abstract: 一种微流体表面处理装置(10a-10h)，包括：微流体探针头(16)，在其面(17)上具有至少一个孔(11)，所述至少一个孔(11)至少包括出口孔(11)；以及表面处理结构(21，21a，22)，相对于所述面(17)垂直地并且向外延伸，所述处理结构相对于所述出口孔(11)被进一步确定尺寸和定位为使得它能够在操作中截断经由所述出口孔分发的液体(15)的流路。提供了有关的设备和方法。
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公开(公告)号：CN104321271B
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201380027002.3
申请日：2013-06-11
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: C23C2/04 , B05C3/02 , B05C11/1007 , B05D1/18 , G01N27/447 , G01Q60/42 , G01Q80/00
Abstract: 一种微流体表面处理装置(10a‑10h)，包括：微流体探针头(16)，在其面(17)上具有至少一个孔(11)，所述至少一个孔(11)至少包括出口孔(11)；以及表面处理结构(21，21a，22)，相对于所述面(17)垂直地并且向外延伸，所述处理结构相对于所述出口孔(11)被进一步确定尺寸和定位为使得它能够在操作中截断经由所述出口孔分发的液体(15)的流路。提供了有关的设备和方法。
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公开(公告)号：CN102575975B
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201080047075.5
申请日：2010-11-08
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: G01Q60/363 , B82Y35/00 , G01Q70/10
Abstract: 本发明涉及一种利用扫描探针显微镜或SPM(10)来扫描材料(50)的表面(52)的方法，SPM具有构造为表现出不同的弹簧行为(C，Ck)的悬臂传感器(100)，该方法包括：-在接触模式下操作SPM，由此在材料表面上扫描该扫描器并且通过由材料表面导致的该传感器的偏转激发该传感器的第一弹簧行为(C)(例如，其屈曲的基本模式)；以及-以悬臂传感器的第二弹簧行为(Ck)的谐振频率利用激发装置激发该传感器的第二弹簧行为(Ck)(例如，一种或多种更高阶谐振模式)，以调节该传感器和材料表面的相互作用并由此减小材料表面的磨损。
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公开(公告)号：CN102575975A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201080047075.5
申请日：2010-11-08
Applicant: 国际商业机器公司
CPC classification number: G01Q60/363 , B82Y35/00 , G01Q70/10
Abstract: 本发明涉及一种利用扫描探针显微镜或SPM(10)来扫描材料(50)的表面(52)的方法，SPM具有构造为表现出不同的弹簧行为(C，Ck)的悬臂传感器(100)，该方法包括：-在接触模式下操作SPM，由此在材料表面上扫描该扫描器并且通过由材料表面导致的该传感器的偏转激发该传感器的第一弹簧行为(C)(例如，其屈曲的基本模式)；以及-以悬臂传感器的第二弹簧行为(Ck)的谐振频率利用激发装置激发该传感器的第二弹簧行为(Ck)(例如，一种或多种更高阶谐振模式)，以调节该传感器和材料表面的相互作用并由此减小材料表面的磨损。
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