公开(公告)号：CN100561382C

公开(公告)日：2009-11-18

申请号：CN200480009658.3

申请日：2004-04-09

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： S-J·M·斯里 ,  H·堂 ,  A·夏尔马 ,  E·S·埃莱夫特里乌 ,  M·A·兰茨 ,  C·波兹蒂斯

IPC: G05B1/06

CPC classification number: G11B7/0901 ,  G11B7/08505 ,  G11B7/0941

Abstract: 一种用于基于微机电系统(MEMS)的运动控制系统的伺服控制系统(和方法)，包括运动发生器，该发生器具有固有的刚度成分。

公开(公告)号：CN1871557A

公开(公告)日：2006-11-29

申请号：CN200480009658.3

申请日：2004-04-09

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： S-J·M·斯里 ,  H·堂 ,  A·夏尔马 ,  E·S·埃莱夫特里乌 ,  M·A·兰茨 ,  C·波兹蒂斯

IPC: G05B1/06

CPC classification number: G11B7/0901 ,  G11B7/08505 ,  G11B7/0941

Abstract: 一种用于基于微机电系统(MEMS)的运动控制系统的伺服控制系统(和方法)，包括运动发生器，该发生器具有固有的刚度成分。