Patent search ap:("国际商业机器公司") AND inv:"S·罗森纳格" Page 1

1.

发明公开
使用铜金属间化合物提高铜互连中的可靠性的技术无效

公开(公告)号：CN109196635A

公开(公告)日：2019-01-11

申请号：CN201780033175.4

申请日：2017-05-10

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 胡朝坤 , C·拉沃伊 , S·罗森纳格 , T·M·邵

IPC: H01L21/768 , H01L23/532

Abstract: 提供了用于使用Cu金属间化合物提高Cu互连的可靠性的技术。在一方面，一种在Cu线(112)上方的电介质(114)中形成Cu互连的方法包括以下步骤：在Cu线(112)上方的电介质(114)中形成至少一个通孔(116)；将金属层(118)沉积到电介质(114)上并衬垫通孔(116)，使得金属层(118)与通孔(116)底部的Cu线(112)接触，其中金属层(118)包含至少一种能与Cu反应以形成Cu金属间化合物的金属；在足以在通孔(116)底部形成Cu金属间阻隔(120)的条件下，使金属层(118)和Cu线(112)退火；将Cu(122)电镀到通孔(116)中以形成Cu互连，其中Cu互连通过Cu金属间阻隔层(120)与Cu线(112)分离。还提供了一种装置结构。

Patent Agency Ranking