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公开(公告)号：CN102986002A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201180034018.8
申请日：2011-07-06
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/027 , H01L21/66
CPC classification number: G03F1/70 , G06F17/5081
Abstract: 本发明提供光刻难度度量，该光刻难度度量是以下因子的函数：能量比因子，包括衍射级沿着空间频率空间的角度坐标θi的难以印刷能量与易于印刷能量之比；能量熵因子，包括所述衍射级沿着所述角度坐标θi的能量熵；相位熵因子，包括所述衍射级沿着所述角度坐标θi的相位熵；以及总能量熵因子，包括所述衍射级的总能量熵(430，440)。难以印刷能量包括衍射级在空间频率空间的归一化径向坐标r的如下值处的能量，这些值在r＝0的邻域中和在r＝1的邻域中，并且易于印刷能量包括衍射级位于归一化径向坐标r的中间值处的能量，这些中间值在r＝0的邻域与r＝1的邻域之间。光刻难度度量的值可以用来标识设计布局的图案，这些图案是优化计算中的绑定图案。光刻难度度量可以用来设计具有良好、相对易于印刷特性的集成电路。
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公开(公告)号：CN102986002B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201180034018.8
申请日：2011-07-06
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: H01L21/027 , H01L21/66
CPC classification number: G03F1/70 , G06F17/5081
Abstract: 本发明提供光刻难度度量，该光刻难度度量是以下因子的函数：能量比因子，包括衍射级沿着空间频率空间的角度坐标θi的难以印刷能量与易于印刷能量之比；能量熵因子，包括所述衍射级沿着所述角度坐标θi的能量熵；相位熵因子，包括所述衍射级沿着所述角度坐标θi的相位熵；以及总能量熵因子，包括所述衍射级的总能量熵(430，440)。难以印刷能量包括衍射级在空间频率空间的归一化径向坐标r的如下值处的能量，这些值在r＝0的邻域中和在r＝1的邻域中，并且易于印刷能量包括衍射级位于归一化径向坐标r的中间值处的能量，这些中间值在r＝0的邻域与r＝1的邻域之间。光刻难度度量的值可以用来标识设计布局的图案，这些图案是优化计算中的绑定图案。光刻难度度量可以用来设计具有良好、相对易于印刷特性的集成电路。
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公开(公告)号：CN111860759B
公开(公告)日：2025-01-17
申请号：CN202010323941.4
申请日：2020-04-22
Applicant: 国际商业机器公司
IPC: G06N3/0475 , G06N3/0464 , G06N3/094
Abstract: 本发明涉及一种数据的自主修改的方法和系统。提供一种用于使用生成式对抗网络来修改数据集中的模式的计算机实现的方法。所述方法包括提供数据样本对。每个所述对包括基础数据样本和修改数据样本。所述修改模式是通过对所述基础数据样本应用随机修改来确定的。所述方法包括使用对抗训练方法并且使用数据样本对作为输入来训练所述生成器以构建所述生成器的模型，其中，所述判别器接收数据集的数据集对作为输入，每个所述数据集对包括所述生成器的基于基础数据样本和所述对应的修改数据样本的预测输出，由此优化用于所述生成器和所述判别器的联合损失函数，以及在没有所述判别器的情况下，针对未知数据样本作为所述生成器的输入来预测输出数据集。
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公开(公告)号：CN111860759A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010323941.4
申请日：2020-04-22
Applicant: 国际商业机器公司
Abstract: 本发明涉及一种数据的自主修改的方法和系统。提供一种用于使用生成式对抗网络来修改数据集中的模式的计算机实现的方法。所述方法包括提供数据样本对。每个所述对包括基础数据样本和修改数据样本。所述修改模式是通过对所述基础数据样本应用随机修改来确定的。所述方法包括使用对抗训练方法并且使用数据样本对作为输入来训练所述生成器以构建所述生成器的模型，其中，所述判别器接收数据集的数据集对作为输入，每个所述数据集对包括所述生成器的基于基础数据样本和所述对应的修改数据样本的预测输出，由此优化用于所述生成器和所述判别器的联合损失函数，以及在没有所述判别器的情况下，针对未知数据样本作为所述生成器的输入来预测输出数据集。
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