公开(公告)号：CN1189792C

公开(公告)日：2005-02-16

申请号：CN01117158.8

申请日：2001-04-27

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 托马斯·I·沃洛 ,  罗伯特·D·阿伦 ,  菲利普·J·布洛克 ,  理查德·A·迪彼特罗 ,  伊藤洋 ,  霍·D·翁 ,  普什卡拉·R·瓦雷那斯

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/039

Abstract: 可使用193nm射线(且可能使用其它射线)成象与显影以形成具有改进的显影特性与改进的抗蚀力的光致抗蚀剂结构的酸催化正性光致抗蚀剂组合物可通过使用包括环烯聚合物的抗蚀剂组合物而实现，此聚合物包括含有内酯部分的环烯单体，此单体在插入在内酯部分与环烯的一环之间没有氧原子。优选的内酯部分是同环烯的一环直接结合的螺甾内酯(有一个5或6节的环)。

公开(公告)号：CN1322967A

公开(公告)日：2001-11-21

申请号：CN01117158.8

申请日：2001-04-27

Applicant: 国际商业机器公司

Inventor： 托马斯·I·沃洛 ,  罗伯特·D·阿伦 ,  菲利普·J·布洛克 ,  理查德·A·迪彼特罗 ,  伊藤洋 ,  霍·D·翁 ,  普什卡拉·R·瓦雷那斯

IPC: G03F7/027

CPC classification number: G03F7/0045 ,  G03F7/039

Abstract: 可使用193nm射线(且可能使用其它射线)成象与显影以形成具有改进的显影特性与改进的抗蚀力的光致抗蚀剂结构的酸催化正性光致抗蚀剂组合物可通过使用包括环烯聚合物的抗蚀剂组合物而实现,此聚合物包括含有内酯部分的环烯单体,此单体在插入在内酯部分与环烯的一环之间没有氧原子。优选的内酯部分是同环烯的一环直接结合的螺甾内酯(有一个5或6节的环)。