一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器

    公开(公告)号:CN103149423B

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201310065237.3

    申请日:2013-03-01

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 周锐

    Abstract: 本发明公开了一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器,其通过在现有MEMS微波功率传感器的外围,刻蚀内隔离环和外隔离环,将微波功率传感器包围起来形成隔离岛。同时又在内隔离环内侧设有第一加热电路和第二加热电路,利用热电阻加热,保持MEMS微波功率传感器工作在常温下,进一步减小了环境温度对现有MEMS微波功率传感器灵敏度的影响,从而提高了传感器对微波功率的测试精度。

    一种微波收发机中的自供电微机械传感器及模块

    公开(公告)号:CN103176038B

    公开(公告)日:2015-07-15

    申请号:CN201310038512.2

    申请日:2013-01-31

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 周锐

    Abstract: 本发明公开了一种微波收发机中的自供电微机械传感器及模块,包括印刷电路板、设置在印刷电路板中心的微波功率放大器、设置于微波功率放大器外周的热电堆结构,热电堆结构包括依次串联的四个微机械热电堆,其中首尾两端的微机械热电堆分别连接一个压焊块,微机械热电堆与印刷电路板之间设置有砷化镓衬底。本发明具有改善微波收发机的散热性能,能够提供稳定的直流电压偏置,能量消耗小,且MEMS热电堆具有很高的集成度,与GaAs MMIC工艺相兼容,便于大规模生产。有效改善无线发射机系统的能量消耗,提高了系统的可靠性和稳定性。

    一种热隔离式MEMS微波功率传感器

    公开(公告)号:CN103149424B

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201310066611.1

    申请日:2013-03-01

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 周锐

    Abstract: 本发明公开了一种热隔离式MEMS微波功率传感器,其在现有MEMS微波功率传感器设置有方形隔离环,所述隔离环深度为90um,宽度为5um,以减少了微波功率传感器通过衬底散失的热量,提高了传感器对微波功率的测试精度。

    一种低温双层隔离补偿式MEMS微波功率传感器

    公开(公告)号:CN103197137B

    公开(公告)日:2015-09-16

    申请号:CN201310066826.3

    申请日:2013-03-01

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 周锐

    Abstract: 本发明提出一种低温双层隔离补偿式MEMS微波功率传感器,其通过在微波功率传感器一的外围,刻蚀内隔离环和外隔离环,将微波功率传感器包围起来形成隔离岛,进一步减少了现有MEMS微波功率传感器通过衬底散失的热量。同时又在内隔离环内侧设有第一加热电路和第二加热电路,利用热电阻加热,保持MEMS微波功率传感器工作在常温下,进一步减少了环境温度对现有MEMS微波功率传感器灵敏度的影响,从而提高了微波功率传感器一的测试精度。然后在运算电路中,利用微波功率传感器一和微波功率传感器二的输出电压得出由于热量耗散和环境温度影响而导致的现有微波功率传感器的误差,并将该误差加到有误差的微波功率传感器三上,以实现温度补偿。

    一种低温双层隔离补偿式MEMS微波功率传感器

    公开(公告)号:CN103197137A

    公开(公告)日:2013-07-10

    申请号:CN201310066826.3

    申请日:2013-03-01

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 周锐

    Abstract: 本发明提出一种低温双层隔离补偿式MEMS微波功率传感器,其通过在微波功率传感器一的外围,刻蚀内隔离环和外隔离环,将微波功率传感器包围起来形成隔离岛,进一步减少了现有MEMS微波功率传感器通过衬底散失的热量。同时又在内隔离环内侧设有第一加热电路和第二加热电路,利用热电阻加热,保持MEMS微波功率传感器工作在常温下,进一步减少了环境温度对现有MEMS微波功率传感器灵敏度的影响,从而提高了微波功率传感器一的测试精度。然后在运算电路中,利用微波功率传感器一和微波功率传感器二的输出电压得出由于热量耗散和环境温度影响而导致的现有微波功率传感器的误差,并将该误差加到有误差的微波功率传感器三上,以实现温度补偿。

    一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器

    公开(公告)号:CN103149423A

    公开(公告)日:2013-06-12

    申请号:CN201310065237.3

    申请日:2013-03-01

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 周锐

    Abstract: 本发明公开了一种低温双层隔离式MEMS微波功率传感器,其通过在现有MEMS微波功率传感器的外围,刻蚀内隔离环和外隔离环,将微波功率传感器包围起来形成隔离岛。同时又在内隔离环内侧设有第一加热电路和第二加热电路,利用热电阻加热,保持MEMS微波功率传感器工作在常温下,进一步减小了环境温度对现有MEMS微波功率传感器灵敏度的影响,从而提高了传感器对微波功率的测试精度。

    一种可抗强风或台风的光伏柔性支架系统

    公开(公告)号:CN117394756A

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202311342683.4

    申请日:2023-10-17

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开一种可抗强风或台风的光伏柔性支架系统,属于光伏柔性支架技术领域;光伏柔性支架系统包括光伏柔性支架、监测模块以及控制模块;光伏柔性支架包括两个桩基础,每个桩基础上设置一个钢板支撑件,钢板支撑件上设置有能够转动的转动横梁,两个转动横梁有固定光伏板的承重索,承重索与转动横梁之间通过索力调节装置连接;每个桩基础上均安装有两个抗风索,抗风索的一端与桩基础通过球铰连接,另一端与承重索之间通过抗风索调节装置连接;监测模块用于监测光伏板表面受力、承重索索力以及振幅以及太阳辐射量,控制模块根据根据监测数据来分别控制光伏板转动、承重索的索力以及同一个桩基础上两个抗风索之间的夹角。

    一种MEMS温度补偿式微波功率检测装置

    公开(公告)号:CN103149425B

    公开(公告)日:2015-05-06

    申请号:CN201310066820.6

    申请日:2013-03-01

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 周锐

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS温度补偿式微波功率检测装置,其包括功率分配器、微波功率传感器三、温度补偿模块以及运算电路。通过温度补偿模块和运算电路对现有微波功率传感器进行温度补偿,从而提高了微波功率检测的精度。

    一种微波收发机中的自供电微机械传感器及模块

    公开(公告)号:CN103176038A

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201310038512.2

    申请日:2013-01-31

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 廖小平 周锐

    Abstract: 本发明公开了一种微波收发机中的自供电微机械传感器及模块,包括印刷电路板、设置在印刷电路板中心的微波功率放大器、设置于微波功率放大器外周的热电堆结构,热电堆结构包括依次串联的四个微机械热电堆,其中首尾两端的微机械热电堆分别连接一个压焊块,微机械热电堆与印刷电路板之间设置有砷化镓衬底。本发明具有改善微波收发机的散热性能,能够提供稳定的直流电压偏置,能量消耗小,且MEMS热电堆具有很高的集成度,与GaAs MMIC工艺相兼容,便于大规模生产。有效改善无线发射机系统的能量消耗,提高了系统的可靠性和稳定性。

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