一种真空开关真空度的模拟标定系统及方法

    公开(公告)号:CN119880250A

    公开(公告)日:2025-04-25

    申请号:CN202411805299.8

    申请日:2024-12-10

    Abstract: 本发明涉及一种真空开关真空度的模拟标定系统及方法,该系统包括激光诱导击穿光谱子系统、时延子系统、PC端、真空腔和真空开关靶材,激光诱导击穿光谱子系统:包括依次设置的激光器、光路调整模块、收集模块和光谱采集模块,激光器发射激光光束,经光路调整模块进行调整后击打在真空开关靶材表面,产生等离子体光线,经收集模块进行收集并传输至光谱采集模块进行处理,得到光谱;时延子系统:分别与激光器和光谱采集模块连接,时延子系统用于控制激光光束的发射以及光谱采集模块的采集时间间隔;PC端:用于采用真空度标定模型对光谱进行检测,得到真空腔的真空度。与现有技术相比,本发明具有在线模拟标定等优点。

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