公开(公告)号：CN114207781A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080054695.5

申请日：2020-09-03

Applicant: 国立大学法人东北大学 ,  佳能安内华股份有限公司

Inventor： 岛津武仁 ,  鱼本幸 ,  宫本和夫 ,  宫本嘉和 ,  加藤延彦 ,  森脇崇行 ,  斋藤孝之

IPC: H01L21/18

Abstract: 本发明涉及通过由形成于接合面的氧化物构成的接合膜进行化学键合。在真空容器内，在具有平滑面的2个基体各自的所述平滑面上形成非晶氧化物薄膜，并且以形成于所述2个基体上的所述非晶氧化物薄膜彼此接触的方式重叠所述2个基体，由此在所述非晶氧化物薄膜的接合界面产生伴随原子扩散的化学键而将所述2个基体接合。

公开(公告)号：CN115697614A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202180038999.7

申请日：2021-05-25

Applicant: 国立大学法人东北大学 ,  佳能安内华股份有限公司

Inventor： 岛津武仁 ,  鱼本幸 ,  宫本和夫 ,  宫本嘉和 ,  加藤延彦 ,  森脇崇行 ,  斋藤孝之

IPC: B23K20/00

Abstract: 本发明涉及原子扩散接合法及接合结构体。利用形成于接合面的由氮化物构成的接合膜进行原子扩散接合。在真空容器内，在具有平滑面的2个基体各自的所述平滑面上形成由氮化物构成的接合膜，并且以形成于所述2个基体的所述接合膜彼此接触的方式使所述2个基体重叠，从而在所述接合膜的接合界面产生原子扩散，由此将所述2个基体接合。