公开(公告)号：CN1622305A

公开(公告)日：2005-06-01

申请号：CN200410095882.0

申请日：2004-11-26

Applicant: 因芬尼昂技术股份公司

Inventor： G·埃格斯 ,  N·沃思 ,  H·本辛格 ,  T·胡伯

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01K7/01 ,  G01K7/226

Abstract: 本发明涉及一种用以检测半导体装置过热的装置(1，11，21)及方法，其包含一种温度测量装置(3，13，23)，而当半导体装置的温度变化时，该温度测量装置(3，13，23)会改变其导电性。

公开(公告)号：CN100388452C

公开(公告)日：2008-05-14

申请号：CN200410095882.0

申请日：2004-11-26

Applicant: 因芬尼昂技术股份公司

Inventor： G·埃格斯 ,  N·沃思 ,  H·本辛格 ,  T·胡伯

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/26

CPC classification number: G01K7/01 ,  G01K7/226

Abstract: 本发明涉及一种用以检测半导体装置过热的装置(1，11，21)及方法，其包含一种温度测量装置(3，13，23)，而当半导体装置的温度变化时，该温度测量装置(3，13，23)会改变其导电性。