-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117254341A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202211060089.1
申请日：2022-08-31
Applicant: 嘉兴微瑞光学有限公司
IPC: H01S5/02253 , H01S5/026 , G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种制备激光器组件的方法，包括：准备衬底，衬底上具有多个激光器，其中每个激光器均具有发光区域；在衬底上涂覆光刻胶；使用掩膜版去除发光区域上的光刻胶，以在每个发光区域上形成凹陷部；测量衬底上的剩余光刻胶在多个位置处的多个厚度；在每个凹陷部填充光敏胶，其中每个凹陷部中的光敏胶的高度不高于多个厚度中的最低厚度，以在每个凹陷部上形成圆柱体；去除剩余光刻胶；在每个圆柱体上涂覆光敏胶，使用第一模具对每个圆柱体上的光敏胶进行压印，以形成位于所述圆柱体上的微透镜阵列；对所述光敏胶固化成型后进行脱模；切割衬底，得到多个分离的激光器组件，其中每个激光器组件具有集成的激光器、圆柱体和微透镜阵列。该方法简单易于实现，可满足较高深宽比的需求，降低生产成本的同时可达到较好的技术效果。
-
公开(公告)号：CN117254340A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202211044795.7
申请日：2022-08-30
Applicant: 嘉兴微瑞光学有限公司
IPC: H01S5/02253 , H01S5/026 , G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种制备激光器组件的方法，包括：准备衬底，衬底上具有多个激光器，其中每个激光器均具有发光区域；在每个激光器的发光区域上设置预设高度的间隔部，其中间隔部由透光材料制成，并且紧贴发光区域设置；在间隔部的与发光区域相反一侧上涂覆光敏胶；使用第一模具对光敏胶进行压印，以形成位于间隔部上的微透镜阵列；对光敏胶固化成型后进行脱模；切割衬底，得到多个分离的激光器组件，其中每个激光器组件具有集成的激光器、间隔部和微透镜阵列。采用本发明的技术方案，可实现在激光器上制备具有准直功能的微透镜阵列，以将激光器发射的激光调制成准直光，提高了良品率、生产效率以及准直性能，降低生产成本的同时可达到较好的技术效果。
-
公开(公告)号：CN117254340B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202211044795.7
申请日：2022-08-30
Applicant: 嘉兴微瑞光学有限公司
IPC: H01S5/02253 , H01S5/026 , G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种制备激光器组件的方法，包括：准备衬底，衬底上具有多个激光器，其中每个激光器均具有发光区域；在每个激光器的发光区域上设置预设高度的间隔部，其中间隔部由透光材料制成，并且紧贴发光区域设置；在间隔部的与发光区域相反一侧上涂覆光敏胶；使用第一模具对光敏胶进行压印，以形成位于间隔部上的微透镜阵列；对光敏胶固化成型后进行脱模；切割衬底，得到多个分离的激光器组件，其中每个激光器组件具有集成的激光器、间隔部和微透镜阵列。采用本发明的技术方案，可实现在激光器上制备具有准直功能的微透镜阵列，以将激光器发射的激光调制成准直光，提高了良品率、生产效率以及准直性能，降低生产成本的同时可达到较好的技术效果。
-
公开(公告)号：CN119148266A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411510745.2
申请日：2024-10-28
Applicant: 嘉兴微瑞光学有限公司
Abstract: 本发明公开了一种小数值孔径微透镜阵列的制备方法，通过硅基表面胶层制备、曝光套刻、显影、热熔以及刻蚀等工艺步骤，通过将光刻胶匀胶设置为多层匀胶，不同胶层的光刻胶材料与匀胶参数不同，三层光刻胶黏度有明显区分，是影响后续小数值孔径微透镜成形的关键因素；设计不同面积的圆形掩模版，通过套刻曝光后可实现对透镜热熔后微透镜口径的精准控制，提高硅基晶圆内微透镜阵列面型均匀性；热熔烘烤的温度与时间是双层光刻胶结构融合形成微透镜的关键；刻蚀参数选择胶比硅的刻蚀速率快的刻蚀参数还可以进一步提升微透镜曲率半径，减微透镜小数值孔径与体积，从而有效的实现了小数值孔径微透镜阵列的制备。
-
公开(公告)号：CN117254341B
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202211060089.1
申请日：2022-08-31
Applicant: 嘉兴微瑞光学有限公司
IPC: H01S5/02253 , H01S5/026 , G03F7/00
Abstract: 本发明提供一种制备激光器组件的方法，包括：准备衬底，衬底上具有多个激光器，其中每个激光器均具有发光区域；在衬底上涂覆光刻胶；使用掩膜版去除发光区域上的光刻胶，以在每个发光区域上形成凹陷部；测量衬底上的剩余光刻胶在多个位置处的多个厚度；在每个凹陷部填充光敏胶，其中每个凹陷部中的光敏胶的高度不高于多个厚度中的最低厚度，以在每个凹陷部上形成圆柱体；去除剩余光刻胶；在每个圆柱体上涂覆光敏胶，使用第一模具对每个圆柱体上的光敏胶进行压印，以形成位于所述圆柱体上的微透镜阵列；对所述光敏胶固化成型后进行脱模；切割衬底，得到多个分离的激光器组件，其中每个激光器组件具有集成的激光器、圆柱体和微透镜阵列。该方法简单易于实现，可满足较高深宽比的需求，降低生产成本的同时可达到较好的技术效果。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.049 seconds)
