公开(公告)号：CN105182198A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510581410.4

申请日：2015-09-14

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 刘奇 ,  王暄 ,  李东平

IPC: G01R31/12 ,  G01R31/16

Abstract: 本发明涉及一种可变温测量薄膜电击穿性能的电极装置。其特征在于，其包括高压电极、地电极、温度传感器、电加热片、反馈式精密温控仪、千分测厚仪、杠杆开关，所述高压电极内置温度传感器，所述电加热片封于地电极中，所述杠杆开关与高压电极相连，用于控制高压电极的高度。该装置在测试薄膜电击穿性能的同时，还可以获得薄膜的厚度信息，并且温度控制更加精确，因此本装置具有操作简单，实验精确度高、效率高的优点。

公开(公告)号：CN205003246U

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201520708223.3

申请日：2015-09-14

Applicant: 哈尔滨理工大学

Inventor： 王暄 ,  刘奇 ,  李东平

IPC: G01R31/12 ,  G01R31/16

Abstract: 本实用新型公开了一种可变温测量薄膜电击穿性能的电极装置，它包括高压电极、地电极、温度传感器、电加热片、反馈式精密温控仪、千分测厚仪、杠杆开关，所述高压电极内置温度传感器，所述电加热片封于地电极中，所述杠杆开关与高压电极相连，用于控制高压电极的高度。该装置在测试薄膜电击穿性能的同时，还可以获得薄膜的厚度信息，并且温度控制更加精确，因此本装置具有操作简单，实验精确度高、效率高的优点。